离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究

薛栋林; 郑立功; 王淑平; 张学军

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离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究

更新时间：2020-08-12

- 离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究
- Research on off-axis conic asphere null testing using computer-aided alignment method
- 光学精密工程 2006年14卷第3期页码：380-385
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林长春,130033
  2. 中国科学院研究生院北京,100039
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TQ171.6+8
- 收稿日期：2005-10-14，
  
  修回日期：2006-04-08，
  
  网络出版日期：2006-06-30，
  
  纸质出版日期：2006-06-30
- 稿件说明：
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薛栋林, 郑立功, 王淑平, 等. 离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(3):380-385.

XUE Dong-lin, ZHENG Li-gong, WANG Shu-ping, et al. Research on off-axis conic asphere null testing using computer-aided alignment method[J]. Optics and precision engineering, 2006, 14(3): 380-385.
薛栋林, 郑立功, 王淑平, 等. 离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(3):380-385. DOI：

XUE Dong-lin, ZHENG Li-gong, WANG Shu-ping, et al. Research on off-axis conic asphere null testing using computer-aided alignment method[J]. Optics and precision engineering, 2006, 14(3): 380-385. DOI：

摘要

分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差

给出了计算机辅助调整方法。建立了离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型

求解了被检非球面镜的失调方位和量值

利用计算机控制调整架实现了系统辅助调整。建立了实验装置

给出了模拟调整和实际调整结果。经过计算机辅助调整后

被检离轴二次非球面的最终检验结果为0.028λ(RMS)(λ=632.8 nm)。

Abstract

The misalignment-induced aberrations by corrector and the support of the asphere were analyzed in this paper. A computed-aided alignment method was presented combining the interferometric test with the computer optimization for optical alignment

and a mathematical model was established to determine the misalignment. The simulated and actual experimental results of the alignment show that after four times alignment the test results of the asphere can reach up to 0.028λ(RMS) (λ=632.8 nm).

关键词

Keywords

references

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