外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究

杨树臣; 刘建芳; 杨志刚; 赵宏伟

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外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究
- Study on outer driving precision PZT linear step actuator
- 光学精密工程 2006年14卷第4期页码：652-657
- 作者机构：
  
  1. 吉林工程技术师范学院,吉林长春 130052
  2. 吉林大学机械工程学院,吉林长春 130025
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助(No.50475010)();吉林大学研究生创新基金资助(No.401004)()
- DOI：
  中图分类号： TN384
- 收稿日期：2005-09-12，
  
  修回日期：2006-06-13，
  
  纸质出版日期：2006
- 稿件说明：
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杨树臣, 刘建芳, 杨志刚, 赵宏伟. 外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 652-657

YANG Shu-chen, LIU Jian-fang, YANG Zhi-gang, ZHAO Hong-wei. Study on outer driving precision PZT linear step actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 652-657
杨树臣, 刘建芳, 杨志刚, 赵宏伟. 外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 652-657 DOI：

YANG Shu-chen, LIU Jian-fang, YANG Zhi-gang, ZHAO Hong-wei. Study on outer driving precision PZT linear step actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 652-657 DOI：

摘要

提出了一种新型的压电直线精密步进驱动器。该驱动器采用步进仿生运动的原理(Pusher)

以定子箝位和定子驱动的方式实现动子被动运动。在对驱动器工作原理和机械结构分析的基础上

建立以压电叠堆为驱动元件的直线驱动数学模型

并对其结构进行了有限元分析。这种驱动器采用双向推力的结构原理

实现了在正反向与运动过程中驱动特性的一致。实验证明

以这种新型驱动方式构造的驱动器实现了箝位牢固、高频率(100 Hz)驱动、高步进速度(30 mm/min)、大行程(>10 mm)、高分辨率(0.05 m)、大驱动力(100 N)等特点

大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能

在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中有广阔的应用前景。

Abstract

A new precision linear PZT actuator was proposed to improve its drive capabilities. Based on the piezoelectric (PZT) technology

this paper adopts the principle of bionics and works with a new method of stator initiative anchoring/loosen and a distortion structure of double-side thin flexible hinge to solved the problems of anchoring/loosen

frequency

travelling

resolution and velocity. The experimental results show that the new linear PZT actuator has high frequency (100 Hz)

high speed (30 mm/min)

large travelling (>10 mm)

high resolution(0.05 m) and high load (100 N)

it can be applied for large travelling and high resolution driving device

optics engineering

precision positioning and some micro-manipulation field.

关键词

Keywords

references

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