新型压电精密步进旋转驱动器研究

刘建芳; 杨树臣; 杨志刚; 程光明

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新型压电精密步进旋转驱动器研究

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 新型压电精密步进旋转驱动器研究
- Study on precision PZT rotary step actuator with inner anchor/loosen
- 光学精密工程 2006年14卷第4期页码：594-601
- 作者机构：
  
  1. 吉林大学机械工程学院,吉林长春,130025
  2. 吉林工程技术师范学院,吉林长春,130052
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家"();863"();高科技资助项目(No.2002AA423150)。()
- DOI：
  中图分类号： TN384;TH703.6
- 收稿日期：2005-05-12，
  
  修回日期：2006-07-18，
  
  纸质出版日期：2006
- 稿件说明：
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刘建芳, 杨树臣, 杨志刚, 程光明. 新型压电精密步进旋转驱动器研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 594-601

LIU Jian-fang, YANG Shu-chen, YANG Zhi-gang, CHENG Guang-ming. Study on precision PZT rotary step actuator with inner anchor/loosen[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 594-601
刘建芳, 杨树臣, 杨志刚, 程光明. 新型压电精密步进旋转驱动器研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 594-601 DOI：

LIU Jian-fang, YANG Shu-chen, YANG Zhi-gang, CHENG Guang-ming. Study on precision PZT rotary step actuator with inner anchor/loosen[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 594-601 DOI：

摘要

提出了一种新型的压电精密步进旋转驱动器。该驱动器根据仿生运动原理

以压电陶瓷叠堆为动力源

采用定子内侧箝位的方式和薄壁柔性铰链微变形结构

提高了箝位的稳定性和步进旋转的稳定性。通过静力学有限元分析和动力学分析

较深入地研究了该驱动器的运动特性。研究结果表明

该驱动器具有高频率(40 Hz)

较高速度(325 rad/s)

大行程(>360)

高分辨率(1 rad/step)

较大驱动力(30 Ncm)等特点

提高了压电精密步进旋转驱动器的驱动性能

在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程领域有广阔的应用前景。

Abstract

A new precision rotary PZT actuator was proposed to improve its drive capabilities. Based on the piezoelectric (PZT) technology and the bionical principle

the PZT actuator uses a stator inner anchor/loosen and a distortion structure of thin shelf flexible hinge to improve the stability of anchor/loosen and step rotary. With a characteristic analysis from the finite element method

the results show that the new rotary PZT actuator works with high frequency (40 Hz)

high speed (325 rad/s)

large travel (360)

high resolution(1 rad/step) and high torque (30 Ncm) and it will be suitable for application to large travel and high resolution driving device

optical engineering

precision positioning and some micro-manipulation field.

关键词

Keywords

references

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