新型惯性式压电驱动机构的研究

曾平; 温建明; 程光明; 吴博达; 杨志刚

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新型惯性式压电驱动机构的研究

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 新型惯性式压电驱动机构的研究
- Research on novel inertial piezoelectric actuator
- 光学精密工程 2006年14卷第4期页码：623-627
- 作者机构：
  
  吉林大学机械工程学院,吉林长春,130025
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(No.50475010)();高等学校博士学科点专项科研基金(No.20050183020)。()
- DOI：
  中图分类号： TN384;TH703.6
- 收稿日期：2005-11-12，
  
  修回日期：2006-09-18，
  
  纸质出版日期：2006
- 稿件说明：
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曾平, 温建明, 程光明, 吴博达, 杨志刚. 新型惯性式压电驱动机构的研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 623-627

ZENG Ping, WEN Jian-ming, CHENG Guang-ming, WU Bo-da, YANG Zhi-gang. Research on novel inertial piezoelectric actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 623-627
曾平, 温建明, 程光明, 吴博达, 杨志刚. 新型惯性式压电驱动机构的研究[J]. 光学精密工程, 2006,14(4): 623-627 DOI：

ZENG Ping, WEN Jian-ming, CHENG Guang-ming, WU Bo-da, YANG Zhi-gang. Research on novel inertial piezoelectric actuator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2006,14(4): 623-627 DOI：

摘要

基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法

提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案。分析了驱动机构的工作原理

驱动电压与驱动力、位移之间的关系

设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构

并作了相关的性能测试。实验结果表明

采用简单的对称信号波形能驱动机构运动。直线驱动器最高速度可达1 mm/s

最大步长分辨率为20 nm

最大承载能力为1 000 g。

Abstract

Based on controlling the orderly changes of the PZT moving mechanism and friction between supporting faces in mechanical way

a kind of inertial piezoelectric actuator was proposed. The relationship between the driving voltage and the driving force and the distance were analyzed

the structure of a new inertial piezoelectric actuator that can realize single dimension reciprocating motion was designed and manufactured. The experimental results show that the simple associated symmetry electrical signal can provide stable stepping movement with the speed of 1 mm/s

high resolution of 20 nm and maximum loading capacity of 1 000 g

it is expected that the proposed actuator will be widely applied to precision industry.

关键词

Keywords

references

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