简易低成本柔性神经微电极制作方法

周洪波; 李 刚; 张 华; 孙晓娜; 姚 源; 金庆辉; 赵建龙; 任秋实

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简易低成本柔性神经微电极制作方法

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 简易低成本柔性神经微电极制作方法
- A simple and low-cost method to fabricate flexible microelectrodes for neural applications
- 光学精密工程 2007年15卷第7期页码：1056-1063
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院研究生院, 北京 100039
  2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
  3. 上海交通大学激光与生物医学研究所,上海 200030
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： R338;TP212.3
- 收稿日期：2006-12-27，
  
  修回日期：2007-03-21，
  
  网络出版日期：2007-07-30，
  
  纸质出版日期：2007-07-30
- 稿件说明：
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周洪波, 李刚, 张华, 等. 简易低成本柔性神经微电极制作方法[J]. 光学精密工程, 2007,15(7):1056-1063.

ZHOU Hong-bo, LI Gang, ZHANG Hua, et al. A simple and low-cost method to fabricate flexible microelectrodes for neural applications[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(7): 1056-1063.
周洪波, 李刚, 张华, 等. 简易低成本柔性神经微电极制作方法[J]. 光学精密工程, 2007,15(7):1056-1063. DOI：

ZHOU Hong-bo, LI Gang, ZHANG Hua, et al. A simple and low-cost method to fabricate flexible microelectrodes for neural applications[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(7): 1056-1063. DOI：

摘要

提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料

同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性

且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单

仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性

结果表明

这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。

Abstract

A simple and low-cost method to fabricate implantable flexible thin-film microelectrodes is described for neural applications. A photosensitive polyimide (Durimide 7510) is used as substrate materials instead of non-photosensitive polyimide or parylene in conventional process. A new self-shaped technique for thin-film electrode is also employed in the scheme. In addition

an easy and mild release procedure based electrochemical etch is proposed to detach microelectrodes from the fabrication substrate. The whole process using only two masks and two depositions is simple and fast

and can greatly reduce the time and cost of fabrication of neural microelectrodes. The geometrical

electrical properties and biocompatibility of the microelectrodes are also discussed.

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