应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

杨志刚; 刘登云; 吴丽萍; 陈洪涛; 刘 鹏

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应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 应用于压电叠堆泵的微位移放大机构
- Micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump
- 光学精密工程 2007年15卷第6期页码：884-888
- 作者机构：
  
  1. 吉林大学机械科学与工程学院,吉林长春,130025
  2. 长春工程学院,吉林长春,130012
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TH38;TN384
- 收稿日期：2006-10-11，
  
  修回日期：2007-01-07，
  
  网络出版日期：2007-06-30，
  
  纸质出版日期：2007-06-30
- 稿件说明：
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杨志刚, 刘登云, 吴丽萍, 等. 应用于压电叠堆泵的微位移放大机构[J]. 光学精密工程, 2007,15(6):884-888.

YANG Zhi-gang, LIU Deng-yun, WU Li-ping, et al. Micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(6): 884-888.
杨志刚, 刘登云, 吴丽萍, 等. 应用于压电叠堆泵的微位移放大机构[J]. 光学精密工程, 2007,15(6):884-888. DOI：

YANG Zhi-gang, LIU Deng-yun, WU Li-ping, et al. Micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(6): 884-888. DOI：

摘要

提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件

通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构

放大压电叠堆的输出位移。同时

设计、研制了实验装置

并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验。实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍

并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点。由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz

实际测量的固有频率为1.5 kHz。

Abstract

A micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump is presented. Taking the piezoelectric multilayer actuators as drivers of amplifier

the displacement of piezoelectric multilayer actuator is amplified with the flexure hinge amplifier based on the principles of triangle amplification. The static and dynamic characteristics are tested on the prototype

the characteristics of good linearity

high resolution and high frequency are approved.Experimental results conclude that the mechanism can amplify the displacement to 5 times. The natural frequency reaches 1.8 kHz by finite element analysis while the actual measurement result is 1.5 kHz.

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