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研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • 研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法

    • Study on electrode process of UV-LIGA micro-electroforming by AC impedance method

    • 光学精密工程   2007年15卷第7期 页码:1049-1055
    • 中图分类号: TQ153.4
    • 收稿日期:2006-12-28

      修回日期:2007-03-21

      网络出版日期:2007-07-30

      纸质出版日期:2007-07-30

    移动端阅览

  • 邵力耕, 杜立群, 王立鼎1. 研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法[J]. 光学精密工程, 2007,15(7):1049-1055. DOI:

    Study on electrode process of UV-LIGA micro-electroforming by AC impedance method[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(7): 1049-1055. DOI:

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