不同厚度Al滤片对17~33 nm 高次谐波抑制的定量研究

周洪军; 钟鹏飞; 郑津津; 霍同林; 张国斌; 戚泽明

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不同厚度Al滤片对17~33 nm 高次谐波抑制的定量研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 不同厚度Al滤片对17~33 nm 高次谐波抑制的定量研究
- Quantitative research on higher order harmonic suppression in 17~33 nm with different thickness Al filters
- 光学精密工程 2007年15卷第7期页码：1016-1020
- 作者机构：
  
  1. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027
  2. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230026
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O434.12
- 收稿日期：2007-01-11，
  
  修回日期：2007-04-06，
  
  网络出版日期：2007-07-30，
  
  纸质出版日期：2007-07-30
- 稿件说明：
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周洪军, 钟鹏飞, 郑津津, 等. 不同厚度Al滤片对17~33 nm 高次谐波抑制的定量研究[J]. 光学精密工程, 2007,15(7):1016-1020.

ZHOU Hong-jun, ZHONG Peng-fei, ZHENG Jin-jin, et al. Quantitative research on higher order harmonic suppression in 17~33 nm with different thickness Al filters[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(7): 1016-1020.
周洪军, 钟鹏飞, 郑津津, 等. 不同厚度Al滤片对17~33 nm 高次谐波抑制的定量研究[J]. 光学精密工程, 2007,15(7):1016-1020. DOI：

ZHOU Hong-jun, ZHONG Peng-fei, ZHENG Jin-jin, et al. Quantitative research on higher order harmonic suppression in 17~33 nm with different thickness Al filters[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(7): 1016-1020. DOI：

摘要

利用840 l/mm的金膜透射光栅分光和AXUV100G 光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17~33 nm波段高次谐波的抑制情况。结果表明

Al滤片厚为400 nm时

在17~33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度

高次谐波信号强度分量小于2%。经过探测器量子效率修正后

高次谐波分量小于0.6%

这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义。

Abstract

With 840 l/mm transmission grating (made in house) behind the exit of Spherical Grating Monochromator (SGM) in Spectral Radiation Standard and Metrology (U27) beamline

the dispersion of exit beam and the contributions of different orders were analyzed. The results of higher order harmonics suppression by different thickness Al filters were given in the region of 17~33 nm. The results show that when the thickness of Al filter is 400 nm

and the wavelength between 17~33 nm

the contributions of higher orders to the detector signal are restricted to less than 2%

and the Photon Diode (PD) intensity is strong enough. After being corrected by quantum efficiency of the PD detector

the higher order contributions are less than 0.6%

which is important for calibration absolute reflectivities of multilayer and detector.

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