压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量

高 亮; 阚珊珊; 李 敏; 尼启良; 陈 波

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压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量

更新时间：2020-08-12

- 压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量
- Rotation-angle-accuracy measurement of piezo tilt platform
- 光学精密工程 2007年15卷第2期页码：206-211
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院研究生院北京,100039
  2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TB92;TH751
- 收稿日期：2006-02-22，
  
  修回日期：2006-06-08，
  
  网络出版日期：2007-02-20，
  
  纸质出版日期：2007-02-20
- 稿件说明：
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高亮, 阚珊珊, 李敏, 等. 压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量[J]. 光学精密工程, 2007,15(2):206-211.

GAO Liang, KAN Shan-shan, LI Min, et al. Rotation-angle-accuracy measurement of piezo tilt platform[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(2): 206-211.
高亮, 阚珊珊, 李敏, 等. 压电陶瓷精密转动平台的转角精度测量[J]. 光学精密工程, 2007,15(2):206-211. DOI：

GAO Liang, KAN Shan-shan, LI Min, et al. Rotation-angle-accuracy measurement of piezo tilt platform[J]. Optics and precision engineering, 2007, 15(2): 206-211. DOI：

摘要

提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(Peak Valley)值

二者的差值除以待测标准平面镜的直径

其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度。通过测量与误差分析

验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1 μrad(0.2″)

而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关

移动距离越大

产生的误差越大

但其相对误差小于1％。本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8″的角分辨率的要求。

Abstract

A sub-arc-second-accuracy method for measuring rotation-angle was proposed. The tiny rotation-angle of the PZT was obtained using the diameter of the reference flat mirror divide the difference between the PVs when PZT move and don’t move. By measuring and analyzing

the rotation angle accuracy of the PZT is less than 1 μrad(0.2″).The total error changes with the rotation angle of the PZT

but its relative error was smaller than 1%. The result indicates that the measuring technique can meet the resolution of the EUT to 0.8″.

关键词

Keywords

references

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