基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量

陈治

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量
- Nanoscale Measurement Technique of MEMS In-plane Motion Based on Block Matching
- 光学精密工程 2008年16卷第3期页码：505-510
- 作者机构：
  
  天津大学精仪学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2007-08-30，
  
  修回日期：2007-10-25，
  
  网络出版日期：2008-03-22，
  
  纸质出版日期：2008-03-22
- 稿件说明：
移动端阅览
陈治. 基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量[J]. 光学精密工程, 2008,16(3):505-510

Nanoscale Measurement Technique of MEMS In-plane Motion Based on Block Matching[J]. Optics and precision engineering, 2008, 16(3): 505-510.
陈治. 基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量[J]. 光学精密工程, 2008,16(3):505-510 DOI：

Nanoscale Measurement Technique of MEMS In-plane Motion Based on Block Matching[J]. Optics and precision engineering, 2008, 16(3): 505-510. DOI：

摘要

MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数

为MEMS器件的设计提供重要参考。本文提出一种基于块匹配方法的灰度补偿亚像素运动估计算法。该算法可以对因图像灰度变化而引起的误差进行补偿，实现纳米级分辨力测量。利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析，得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度－相位曲线。实验结果表明，该方法测量重复性为5nm。

Abstract

Motion measurement was a key method to get characteristic and dynamic parameters of MEMS resonator in every moment. The results of measurement gave important reference to MEMS designation. In this paper

an algorithm based on block matching was designed so that it was insensitive to frame-to-frame intensity variations. MEMS motion process is analyzed using the algorithm. The offered solution achieved nanoscale accuracy by always employing a small and fixed number of computations

independent of the iterative method. The amplitude-phase curve of MEMS in special driving frequency was got. Experimental results indicate that the repetition of measurement is 5nm.

关键词

Keywords

references

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

融入一维概率Hough变换与局部Zernike矩的双目视觉测量

磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器

应用于小阵元跟踪传感器的相关算法优化

基于超分辨率重建的亚像素图像配准

基于灰度线性建模的亚像素图像抖动量计算

相关机构

安徽工业大学机械工程学院

北京市高速磁悬浮电机技术及应用工程技术研究中心

北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院

北京航空航天大学惯性技术重点实验室新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室

中国科学院光电技术研究所

AI问答

地址：长春市东南湖大路3888号邮编：130033
联系电话：0431-86176855 Email：gxjmgc@ciomp.ac.cn
本系统由Light学术出版中心、北京北大方正电子有限公司共建吉ICP备11002662号-17 京公网安备11010802024621
本系统建议在Chrome、 IE9+ 以上版本浏览器阅读本站内容，360浏览器请切换至极速模式
Cookies帮助我们提供服务并提供个性化体验。使用本网站，即表示您同意我们使用Cookies

⁰