恒温式微热板电阻真空传感器的研究

张凤田; 唐祯安; 余隽

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恒温式微热板电阻真空传感器的研究

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 恒温式微热板电阻真空传感器的研究
- A Constant Temperature Thermal Vacuum Sensor Based on Micro-hotplate
- 光学精密工程 2008年16卷第7期页码：1253-1257
- 作者机构：
  
  中国工程物理研究院电子工程研究所502室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2007-11-07，
  
  修回日期：2008-01-08，
  
  网络出版日期：2008-07-25，
  
  纸质出版日期：2008-07-25
- 稿件说明：
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张凤田,唐祯安,余隽. 恒温式微热板电阻真空传感器的研究[J]. 光学精密工程, 2008,16(7):1253-1257

Zhang Feng-Tian, Tang Zhen-An, Yu Jun. A Constant Temperature Thermal Vacuum Sensor Based on Micro-hotplate[J]. Optics and precision engineering, 2008, 16(7): 1253-1257.
张凤田,唐祯安,余隽. 恒温式微热板电阻真空传感器的研究[J]. 光学精密工程, 2008,16(7):1253-1257 DOI：

Zhang Feng-Tian, Tang Zhen-An, Yu Jun. A Constant Temperature Thermal Vacuum Sensor Based on Micro-hotplate[J]. Optics and precision engineering, 2008, 16(7): 1253-1257. DOI：

摘要

微热板(MHP)作为一种微结构广泛运用在各种微传感器中。本文通过对微热板的传热分析，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响；设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙高度为0.5μm；采用表面微机械加工技术成功实现了该传感器的加工。测试结果显示，该微热板真空传感器气压测量范围约2Pa～105Pa

且响应特性与理论计算结果相符。

Abstract

Micro-hotplate(MHP) is widely used in various of microsensors. Based on the thermal analysis of MHP

this paper analysed theoretically the effects of working temperature and dimensions on the working characteristics of micro-hotplate-based thermal vacuum sensor at constant temperature. A thermal vacuum sensor based on micro-hotplate was designed in which the supporting beams were 65μm long and 21μm wide

the gas gap below micro-hotplate was 0.5μm. The micro sensor was fabricated successfully with surface micromachining technology. The measured results shew that the fabricated vacuum sensor was sensitive in the pressure range of 2Pa～105Pa and the sensor response characteristics were in consistent with the calculated theoretical results.

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