应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪

范玉; 吴一辉; 宣明; 张平; 周连群; 庄须叶

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应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪
- The studies on Hadamard mini-spectrometer based on 2D multi-micro-silicon-slits matrices
- 光学精密工程 2009年17卷第11期页码：2724-2729
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
  2. 中国科学院研究生院2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室3. 中科院长春光学精密机械与物理研究所4. 中国科学院长春光学精密与物理研究所5. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2008-12-03，
  
  修回日期：2009-02-24，
  
  网络出版日期：2009-11-25，
  
  纸质出版日期：2009-11-25
- 稿件说明：
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范玉,吴一辉,宣明,张平,周连群,庄须叶. 应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪[J]. 光学精密工程, 2009,17(11):2724-2729

The studies on Hadamard mini-spectrometer based on 2D multi-micro-silicon-slits matrices[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(11): 2724-2729.
范玉,吴一辉,宣明,张平,周连群,庄须叶. 应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪[J]. 光学精密工程, 2009,17(11):2724-2729 DOI：

The studies on Hadamard mini-spectrometer based on 2D multi-micro-silicon-slits matrices[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(11): 2724-2729. DOI：

摘要

研制了一种基于二维多狭缝阵列的微小型阿达玛光谱仪，利用MEMS加工技术制作出一体式微硅片狭缝阵列，系统采用了Offner 光学结构。以入射狭缝为循环S23型微硅片的阿达玛光谱仪为例，与传统单狭缝光谱仪进行光通量比较，对入射狭缝的衍射现象进行分析，通过Matlab仿真方法及实验验证，得出阿达玛光谱仪光通量提高了3.10倍。

Abstract

This studies on Hadamard mini-spectrometer based on 2D multi-micro-silicon-slits matrices is presented. Multi-micro-silicon-slits matrices is produced by MEMS technique. Offner optical structure is used in the system. The phenomenon of diffraction is analysed by using the software of Matlab. The set of experiments run with the system compare the performance of Hadamard circle-S (N=23) and single silt. Feature of the presented device are for example the throughput advantage (up to the factor of 3.10).

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