基于线电极原位制作的微细电解线切割加工

王昆; 朱荻

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基于线电极原位制作的微细电解线切割加工

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 基于线电极原位制作的微细电解线切割加工
- WIRE ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING BY USING IN SITU FABRICATED WIRE ELECTRODE
- 光学精密工程 2009年17卷第11期页码：2738-2743
- 作者机构：
  
  同济大学2. 南京航空航天大学机电学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2008-09-24，
  
  修回日期：2008-11-28，
  
  网络出版日期：2009-11-25，
  
  纸质出版日期：2009-11-25
- 稿件说明：
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王昆,朱荻. 基于线电极原位制作的微细电解线切割加工[J]. 光学精密工程, 2009,17(11):2738-2743

WIRE ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING BY USING IN SITU FABRICATED WIRE ELECTRODE[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(11): 2738-2743.
王昆,朱荻. 基于线电极原位制作的微细电解线切割加工[J]. 光学精密工程, 2009,17(11):2738-2743 DOI：

WIRE ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING BY USING IN SITU FABRICATED WIRE ELECTRODE[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(11): 2738-2743. DOI：

摘要

微细电解线切割加工是一种微细加工新方法。从理论上分析了线电极直径大小对微细电解线切割加工精度的影响

提出了原位制作微米尺度线电极的方法，并制作出直径5μm的钨丝线电极。通过电解线切割加工试验，加工出缝宽为20μm左右的微型桨叶结构和曲率半径在1μm以下的微细尖角结构。

Abstract

Wire electrochemical micromachining (WEMM) is proposed as a new method of micro fabrication in this paper. Effects of the diameter of wire electrode on the machining accuracy of WEMM are investigated theoretically. In situ fabrication of wire electrode is proposed in this study to fabricate micro meter scale wire electrode. The tungsten wire electrode with the diameter of 5μm is electrochemically in situ fabricated for the production of micro structures. Micro blades with the slit width of 20μm and micro sharp-angles structure with the radius of 1μm are machined experimentally.

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