全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化

赵建国

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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- 全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
- Fabrication of Flexible Hot Film Sensors Arrary and its Optimization
- 光学精密工程 2009年17卷第8期页码：1971-1977
- 作者机构：
  
  西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2009-02-13，
  
  修回日期：2009-04-13，
  
  网络出版日期：2009-08-20，
  
  纸质出版日期：2009-08-20
- 稿件说明：
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赵建国. 全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化[J]. 光学精密工程, 2009,17(8):1971-1977

Fabrication of Flexible Hot Film Sensors Arrary and its Optimization[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(8): 1971-1977.
赵建国. 全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化[J]. 光学精密工程, 2009,17(8):1971-1977 DOI：

Fabrication of Flexible Hot Film Sensors Arrary and its Optimization[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(8): 1971-1977. DOI：

摘要

利用MEMS微加工技术，以镍作为热敏材料，在柔性衬底上制作出了全柔性热膜微传感器阵列，具有软性可弯、便于曲面贴附实现分布测量、高灵敏度的特点。结合制备工艺与性能测试，首次系统性分析掌握了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。通过优化工艺参数以提高柔性热膜微传感器的电阻温度系数，使其达到了4640 ppm/℃，并且保持了较好的线性度。

Abstract

Hot film sensors array with nickel as sensing material fabricated on a flexible substrate has been developed

which is flexible and can be attached upon curved surface

such as airfoil’ surface

for rapid distribution measurement of temperature or flow parameters with minimal invasion. The influence of magnetron sputtering and heat treatment parameters

including argon pressure

substrate temperature

sputtering power

and annealing temperature

on sensor’s temperature coefficient of resistance (TCR) has been studied for first time. Finally

high TCR of 4640ppm/℃ with good linearity has been obtained.

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