使用红外干涉仪测量非球面面形

贺俊; 陈磊

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使用红外干涉仪测量非球面面形

现代应用光学 | 更新时间：2020-08-12

- 使用红外干涉仪测量非球面面形
- Aspheric Surface Measurement by Infrared Interferometer
- 光学精密工程 2010年18卷第1期页码：69-74
- 作者机构：
  
  1. 南京理工大学电子工程与光电技术学院
  2. 中国兵器工业集团南京北方信息产业集团2. 南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2009-04-10，
  
  修回日期：2009-06-19，
  
  网络出版日期：2010-01-22，
  
  纸质出版日期：2010-01-22
- 稿件说明：
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贺俊,陈磊. 使用红外干涉仪测量非球面面形[J]. 光学精密工程, 2010,18(1):69-74

Aspheric Surface Measurement by Infrared Interferometer[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(1): 69-74.
贺俊,陈磊. 使用红外干涉仪测量非球面面形[J]. 光学精密工程, 2010,18(1):69-74 DOI：

Aspheric Surface Measurement by Infrared Interferometer[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(1): 69-74. DOI：

摘要

文章阐述了使用红外干涉仪测量非球面面形的原理和方法，推导了非球面与标准拟合球面之间的轴向偏差和波像差关系。利用红外干涉仪工作波长长（λ=10.6μm）的优点，可以检测一些非球面度相对比较大的非球面，首先测量非球面与标准拟合球面之间波像差，再将此波像差与通过理论计算得出的波像差进行比较，从而计算出非球面的面形。结果显示非球面面形偏差为1.20μm（PV），与使用CGH测量的结果比较吻合。实验证明此方法具有操作简单、成本低廉、通用性较强等优点。

Abstract

The principle and the method of aspheric surface measurement by infrared interferometer is introduced. The axial deviation between aspheric surface and standard fit spherical surface is calculated

and the relationship between this deviation and the wavefront aberration is deduced. The aspheric surfaces with large asphericity can be measured by the use of infrared interferometer with the advantage of long working wavelength (λ=10.6μm). The wavefront aberrations of the tested aspheric surface and the standard fit spherical surface are measured

then the measured wavefront aberration and the calculated wavefront aberration are compared

and the surface quality of aspheric surface is obtained. The result shows the surface deviation is 1.20μm(PV). The method has advanges of easy operation

low cost

and good generality.

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