UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的研究

杜立群

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UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的研究

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12

- UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的研究
- Research on fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology
- 光学精密工程 2010年18卷第2期页码：363-368
- 作者机构：
  
  大连理工大学机械学院微系统中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：2009-07-15，
  
  修回日期：2009-10-27，
  
  网络出版日期：2010-02-20，
  
  纸质出版日期：2010-02-20
- 稿件说明：
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杜立群. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的研究[J]. 光学精密工程, 2010,18(2):363-368

Research on fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(2): 363-368.
杜立群. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的研究[J]. 光学精密工程, 2010,18(2):363-368 DOI：

Research on fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(2): 363-368. DOI：

摘要

研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构的工艺方法。首先通过UV-LIGA制作二维金属微结构，再对该微结构进行微细电火花加工得到三维金属微结构。该方法具有加工精度高、可实现自由曲面三维金属微结构制作的优点。制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响，通过减小放电电压和电容的方法降低了表面粗糙度。

Abstract

A process to fabricate 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology was researched. 2D metal microstructure was fabricated by UV-LIGA technology firstly

and then it was machined using micro-EDM to get 3D metal microstructure. The method takes advantages of high machining accuracy and fabricating 3D metal microstructure with free-form surfaces. 3D nickel mold with trapezium table and taper flute microstructures in part was fabricated. The influence of micro-EDM discharge parameter on surface roughness was analyzed

and the surface roughness was dropped through reducing the discharge voltage and catacitance.

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