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大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-12
    • 大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制

    • Development of angular micro driving device forlarge-scale and high accurate turntable

    • 光学精密工程   2010年18卷第5期 页码:1112-1118
    • 收稿日期:2009-06-11

      修回日期:2009-09-09

      网络出版日期:2010-05-25

      纸质出版日期:2010-05-25

    移动端阅览

  • 田学光,,田兴志,刘轩,刘伟. 大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制[J]. 光学精密工程, 2010,18(5):1112-1118 DOI:

    TIAN Xue-guang, TIAN Xing-zhi, LIU Xuan, et al. Development of angular micro driving device forlarge-scale and high accurate turntable[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(5): 1112-1118. DOI:

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