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基于高精度位移传感器的新型减振平台
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 基于高精度位移传感器的新型减振平台

    • New Vibration Isolation Platform Base on High Accurate Displacement Sensor

    • 光学精密工程   2010年18卷第3期 页码:646-652
    • 中图分类号: TH161.6;TP211.53
    • 收稿日期:2009-04-22

      修回日期:2009-07-09

      网络出版日期:2010-03-22

      纸质出版日期:2010-03-22

    移动端阅览

  • 宁大勇. 基于高精度位移传感器的新型减振平台[J]. 光学精密工程, 2010,18(3):646-652 DOI:

    New Vibration Isolation Platform Base on High Accurate Displacement Sensor[J]. Optics and precision engineering, 2010, 18(3): 646-652. DOI:

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