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高集成度新型摆镜驱动模块的研制
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 高集成度新型摆镜驱动模块的研制

    • Development of a New High Integration Drive Modular for Scanning Mirror

    • 光学精密工程   2009年17卷第12期 页码:2997-3000
    • 中图分类号: TH74
    • 收稿日期:2008-11-04

      修回日期:2008-12-13

      网络出版日期:2009-12-25

      纸质出版日期:2009-12-25

    移动端阅览

  • 许杰,汪逸群. 高集成度新型摆镜驱动模块的研制[J]. 光学精密工程, 2009,17(12):2997-3000 DOI:

    Development of a New High Integration Drive Modular for Scanning Mirror[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(12): 2997-3000. DOI:

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