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薄膜反射镜静电成形机理研究
现代应用光学 | 更新时间:2020-08-13
    • 薄膜反射镜静电成形机理研究

    • Research on electrostatic deformation of membrane mirror

    • 光学精密工程   2009年17卷第2期 页码:267-273
    • 中图分类号: TH704O44
    • 收稿日期:2008-01-21

      修回日期:2008-03-28

      网络出版日期:2009-02-25

      纸质出版日期:2009-02-25

    移动端阅览

  • 张鹰. 薄膜反射镜静电成形机理研究[J]. 光学精密工程, 2009,17(2):267-273 DOI:

    ZHANG Ying. Research on electrostatic deformation of membrane mirror[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(2): 267-273. DOI:

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相关作者

李明涛
郑建华
王新涛
庞志海
李欣耀
王虎
马臻
陈钦芳

相关机构

中国科学院大学
中国科学院 国家空间科学中心
中国科学院 上海技术物理研究所
中国科学院 西安光学精密机械研究所, 陕西 西安 710119
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
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