固着磨料数控加工碳化硅反射镜去除函数的研究

王旭

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固着磨料数控加工碳化硅反射镜去除函数的研究

现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13

- 固着磨料数控加工碳化硅反射镜去除函数的研究
- Study on removal function based on computer controlled grinding SiC mirror with fixed abrasive
- 光学精密工程 2009年17卷第5期页码：951-957
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TQ171.684O436.1
- 收稿日期：2008-09-01，
  
  修回日期：2008-09-18，
  
  网络出版日期：2009-05-25，
  
  纸质出版日期：2009-05-25
- 稿件说明：
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王旭. 固着磨料数控加工碳化硅反射镜去除函数的研究[J]. 光学精密工程, 2009,17(5):951-957

Study on removal function based on computer controlled grinding SiC mirror with fixed abrasive[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(5): 951-957.
王旭. 固着磨料数控加工碳化硅反射镜去除函数的研究[J]. 光学精密工程, 2009,17(5):951-957 DOI：

Study on removal function based on computer controlled grinding SiC mirror with fixed abrasive[J]. Optics and precision engineering, 2009, 17(5): 951-957. DOI：

摘要

本文采用较为新颖的固着磨料工艺数控加工碳化硅反射镜。基于平转动加工方式的去除函数理论推导出多丸片抛光盘的去除函数模型。根据趋近因子、曲线距离等结果对参数进行优化，由优化后的参数指导实验。通过理论模型与实验结果对比：理论最大去除率与实验偏差，偏差比例为5.58%；理论去除函数曲线与实验值的曲线距离偏差，偏差比例为7.01%。在分析部分，引入填充因子来间接评价去除函数形状。实验结果很好的验证了理论模型的准确性。因此固着磨料工艺的加工结果有着很好的预测性，在碳化硅反射镜的精密加工领域有着极为广阔的应用前景。

Abstract

The paper describes a brand-new technology which is called fixed abrasive technology. The removal function model of multi-pellets polishing pad is achieved and it is based on the removal function theory of planet motion .The parameters of model have been optimized through the approaching factor

and curve rms distance . The experiment is carried out under these optimized parameters. Through the comparison of theoretical model and experimental results: the warp between theoretical maximum removal rate and experiment is

the ratio is 5.58% . The distance warp between theoretical removal function curve and experimental curve is

ratio is 7.01%. The veracity of theoretical model is verified through experimental results. So it has good prediction for the fabrication result of fixed abrasive and the fixed abrasive technology has great foreground in SiC mirror precision fabrication field.

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