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离心法曲面涂胶的胶层厚度研究
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2022-02-15
    • 离心法曲面涂胶的胶层厚度研究

    • Research on resist-layer thickness by spin-coating on curved substrate

    • 光学精密工程   2022年30卷第1期 页码:71-77
    • DOI:10.37188/OPE.2021.0477    

      中图分类号: TN305.7
    • 收稿日期:2021-07-18

      修回日期:2021-08-09

      纸质出版日期:2022-01-15

    移动端阅览

  • 解孟涛,刘俊标,王鹏飞等.离心法曲面涂胶的胶层厚度研究[J].光学精密工程,2022,30(01):71-77. DOI: 10.37188/OPE.2021.0477.

    XIE Mengtao,LIU Junbiao,WANG Pengfei,et al.Research on resist-layer thickness by spin-coating on curved substrate[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(01):71-77. DOI: 10.37188/OPE.2021.0477.

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中国科学院大学
中国科学院电工研究所 微纳加工技术与智能电气设备研究部
中国科学院大学 电子电气与通信工程学院
季华实验室
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