1.洛阳师范学院 物理与电子信息学院,河南 洛阳 471000
2.北京卫星环境工程研究所,北京 100094
3.重庆大学 光电工程学院,重庆 400044
[ "杨数强(1979-),男,河南洛阳人,博士研究生,副教授,2009年于重庆理工大学获得硕士学位,主要从事信号获取与处理技术、机器视觉、物联网及自动控制方面的研究。E-mail:joanhn@163.com" ]
杨数强(1979-),男,河南洛阳人,博士研究生,副教授,2009年于重庆理工大学获得硕士学位,主要从事信号获取与处理技术、机器视觉、物联网及自动控制方面的研究。E-mail:joanhn@163.com
[ "陈宇昕(1995-),男,河北邯郸人,硕士,2020年于重庆大学获得硕士学位,主要从事MEMS传感器、压电薄膜工艺等方面的研究。E-mail:20133013@cqu.edu.cn" ]
陈宇昕(1995-),男,河北邯郸人,硕士,2020年于重庆大学获得硕士学位,主要从事MEMS传感器、压电薄膜工艺等方面的研究。E-mail:20133013@cqu.edu.cn
[ "尚正国(1981-),男,河南洛阳人,博士,高级工程师,2014年于重庆大学获得博士学位,主要从事MEMS工艺、智能传感与系统方面的研究,尤其是对基于AlN、ScAlN薄膜的SAW、BAW、PMUT及能量收集器等器件方面的研究。E-mail:zhengry@cqu.edu.cn" ]
尚正国(1981-),男,河南洛阳人,博士,高级工程师,2014年于重庆大学获得博士学位,主要从事MEMS工艺、智能传感与系统方面的研究,尤其是对基于AlN、ScAlN薄膜的SAW、BAW、PMUT及能量收集器等器件方面的研究。E-mail:zhengry@cqu.edu.cn
纸质出版日期:2021-01-15,
收稿日期:2020-08-10,
修回日期:2020-09-21,
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引用本文
杨数强,王军强,张超等.高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征[J].光学精密工程,2021,29(01):21-27.
YANG Shu-qiang,WANG Jun-qiang,ZHANG Chao,et al.Preparation and characterization of ScAlN thin film with high scandium concentration[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(01):21-27.
杨数强,王军强,张超等.高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征[J].光学精密工程,2021,29(01):21-27. DOI: 10.37188/OPE.20212901.0021.
YANG Shu-qiang,WANG Jun-qiang,ZHANG Chao,et al.Preparation and characterization of ScAlN thin film with high scandium concentration[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(01):21-27. DOI: 10.37188/OPE.20212901.0021.
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