您当前的位置:
首页 >
文章列表页 >
高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征
现代应用光学 | 更新时间:2021-02-04
    • 高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征

    • Preparation and characterization of ScAlN thin film with high scandium concentration

    • 光学精密工程   2021年29卷第1期 页码:21-27
    • DOI:10.37188/OPE.20212901.0021    

      中图分类号: O484.1;TB383.2
    • 收稿日期:2020-08-10

      修回日期:2020-09-21

      纸质出版日期:2021-01-15

    移动端阅览

  • 杨数强,王军强,张超等.高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征[J].光学精密工程,2021,29(01):21-27. DOI: 10.37188/OPE.20212901.0021.

    YANG Shu-qiang,WANG Jun-qiang,ZHANG Chao,et al.Preparation and characterization of ScAlN thin film with high scandium concentration[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(01):21-27. DOI: 10.37188/OPE.20212901.0021.

  •  
  •  

0

浏览量

1499

下载量

0

CSCD

文章被引用时,请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

反应磁控溅射法制备氮化铝钪薄膜
NiC/Ti中子多层膜的微结构和界面研究
2 m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性
磁控溅射法制备的五氧化二钒薄膜光电特性
氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜

相关作者

尚正国
刘玉菲
陈宇昕
王占山
张众
靳鑫
李文斌
黄秋实

相关机构

重庆大学 光电工程学院
重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室
同济大学 物理科学与工程学院 先进微结构材料教育部重点实验室
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室
南京航空航天大学 机电工程学院
0