超构表面红外分光阵列设计

王进东; 叶文成; 张伟婷; 崔爱梁; 廖清君

doi:10.37188/OPE.20212904.0674

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超构表面红外分光阵列设计

现代应用光学 | 更新时间：2021-05-12

- 超构表面红外分光阵列设计
- Design of infrared metasurface splitter arrays
- 光学精密工程 2021年29卷第4期页码：674-681
- 作者机构：
  
  1.中国科学院上海技术物理研究所，上海200083
  2.中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，上海200083
  3.中国科学院大学，北京100049
  4.上海市实验学校，上海 200135
- 作者简介：
  
  [ "王进东（1995-），男，浙江义乌人，博士研究生，2017年于浙江师范大学获得学士学位，主要从事红外超构表面的制备与应用。E-mail：wangjindong@mail.sitp.ac.cn" ]
- 基金信息：
  
  中科院战略高技术创新基金资助项目(CXJJ-19-A04)
- DOI：10.37188/OPE.20212904.0674
  中图分类号： TN214;TN211
- 收稿日期：2020-09-10，
  
  修回日期：2020-11-05，
  
  纸质出版日期：2021-04-15
- 稿件说明：
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王进东,叶文成,张伟婷等.超构表面红外分光阵列设计[J].光学精密工程,2021,29(04):674-681.

WANG Jin-dong,YE Wen-cheng,ZHANG Wei-ting,et al.Design of infrared metasurface splitter arrays[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(04):674-681.
王进东,叶文成,张伟婷等.超构表面红外分光阵列设计[J].光学精密工程,2021,29(04):674-681. DOI： 10.37188/OPE.20212904.0674.

WANG Jin-dong,YE Wen-cheng,ZHANG Wei-ting,et al.Design of infrared metasurface splitter arrays[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(04):674-681. DOI： 10.37188/OPE.20212904.0674.

摘要

超构表面阵列分光具有高透射、低损耗、高集成度的特点，是当前微纳结构领域的研究热点。本文提出了一种由Si和SiO

组成的超构表面红外分光阵列。以不同波长的红外光入射单元，仅改变圆柱半径，分别计算不同波长的透射率和出射相位随半径的变化。根据广义斯涅尔定律，选择具有不同圆柱半径的若干单元组成超构表面分光周期。该周期对不同波长的入射光具有对应的透射相位梯度，验证了超构表面阵列具有分光功能。对超构表面红外分光阵列可能的应用提出了展望。结果表明：以半径为150，250，300 nm的3个Si纳米柱组成的超构表面周期可以将波长2.7 μm和2.9 μm的混合入射红外光分离，并且透射率达到70%以上。

Abstract

Splitters for metasurface arrays have the characteristics of high transmission， low loss， and high integration； these have become a current research hotspot for nano structure applications. This paper proposes a metasurface infrared splitter array composed of Si and SiO

. Infrared with different wavelengths was used to enter the unit， and only the radius of the cylinder was changed. The transmittance and phase of the infrared with different wavelengths were calculated based on the radius. According to the generalized Snell's law， several units with different cylindrical radii were selected to form the splitter period of the metasurface. The period had a corresponding transmission phase gradient for the infrared with different wavelengths. It was verified that the metasurface arrays had a light splitting function. Possible applications of infrared splitter arrays on the metasurface were proposed. The results reveal that the metasurface period composed of three Si nanopillars， with radii of 150， 250， and 300 nm， can separate the mixed incident infrared with wavelengths of 2.7 μm and 2.9 μm， and the transmittance can become more than 70%.

关键词

Keywords

references

叶振华，陈奕宇，张鹏 . 碲镉汞红外探测器的前沿技术综述［J］. 红外， 2014 ， 35 （ 2 ）： 1 - 8 .

YE ZH H ， CHEN Y Y ， ZHANG P . Overview of latest technologies of HgCdTe infrared photoelectric detectors ［J］. Infrared ， 2014 ， 35 （ 2 ）： 1 - 8 . （in Chinese）

张鹏 . 碲镉汞红外焦平面探测器芯片的优化设计及工艺验证［D］. 上海：上海技术物理研究所， 2016 .

ZHANG P . Optimal Design and Experimental Vertification of HgCdTe Infrared Focal Plane Arrays Detector ［D］. Shanghai ： Shanghai Institute of Technical Physics ， 2016 . （in Chinese）

张敏，王泽秀，黄承彩 . Hg 1－ x Cd x Te双色红外探测器装配工艺［J］. 红外技术， 1996 ， 18 （ 5 ）： 8 - 10 .

ZHANG M ， WANG Z X ， HUANG CH C . Study of assembly technique for two-color MCT detectors ［J］. Infrared Technology ， 1996 ， 18 （ 5 ）： 8 - 10 . （in Chinese）

赵俊，毛京湘，李艳辉，等 . 双色焦平面红外探测器相对光谱串音研究［J］. 红外技术， 2014 ， 36 （ 4 ）： 286 - 289 .

ZHAO J ， MAO J X ， LI Y H ， et al . Analysis on the relative spectral crosstalk of dual-band IRFPA detector ［J］. Infrared Technology ， 2014 ， 36 （ 4 ）： 286 - 289 . （in Chinese）

白丕绩，赵俊，刘会平，等 . 碲镉汞双色红外焦平面读出电路研究进展［J］. 红外技术， 2015 ， 37 （ 10 ）： 807 - 813 .

BAI P J ， ZHAO J ， LIU H P ， et al . Review of ROIC for MCT dual-band infrared focal plane arrays ［J］. Infrared Technology ， 2015 ， 37 （ 10 ）： 807 - 813 . （in Chinese）

赵俊，杨玉林，李艳辉，等 . 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究［J］. 红外技术， 2014 ， 36 （ 6 ）： 439 - 442 .

ZHAO J ， YANG Y L ， LI Y H ， et al . Analysis of MW 320 × 256 IRFPA detector based on MCT/Ge ［J］. Infrared Technology ， 2014 ， 36 （ 6 ）： 439 - 442 . （in Chinese）

LIU L F ， CHEN Y Y ， YE Z H ， et al . A review on plasma-etch-process induced damage of HgCdTe ［J］. Infrared Physics & Technology ， 2018 ， 90 ： 175 - 185 .

LIU L F ， CHEN Y Y ， YE Z H ， et al . Inductively coupled plasma-induced electrical damage on HgCdTe etched surface at cryogenic temperatures ［J］. Journal of Electronic Materials ， 2018 ， 47 （ 10 ）： 5759 - 5762 .

CUI A L ， LIU L F ， SUN C H ， et al . Analysis of dark current generated by long-wave infrared HgCdTe photodiodes with different implantation shapes ［J］. Infrared Physics & Technology ， 2019 ， 103 ： 103036 .

LI Z W ， HAO J M ， XU H ， et al . Shaping the flow of light based on abrupt phase discontinuities operation in high order modes ［J］. 2016 IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes for RF and THz Applications （IMWS-AMP）， 2016 ： 1 - 3 .

PAN X H ， XU H ， GAO Y Q ， et al . Spatial and frequency selective plasmonic metasurface for long wavelength infrared spectral region ［J］. Advanced Optical Materials ， 2018 ， 6 （ 20 ）： 1800337 .

LI J ， LIU C ， LIU Y M ， et al . High efficiency anisotropic dual-band metasurface in the infrared region ［J］. Opt. Eng. ， 2019 ， 58 （ 6 ）： 067106 .

JEONG H ， YANG Y ， CHO H ， et al . Emerging advanced metasurfaces： Alternatives to conventional bulk optical devices ［J］. Microelectronic Engineering ， 2020 ， 220 ： 111146 .

WEN D D ， YUE F Y ， LIU W W ， et al . Geometric metasurfaces for ultrathin optical devices ［J］. Advanced Optical Materials ， 2018 ， 6 （ 17 ）： 1800348 .

XU H X ， MA S J ， LING X H ， et al . Deterministic approach to achieve broadband polarization-independent diffusive scatterings based on metasurfaces ［J］. ACS Photonics ， 2018 ， 5 （ 5 ）： 1691 - 1702 .

WANG W ， ZHAO Z H ， GUO C ， et al . Irrotational nanobricks based high-efficiency polarization-independence metasurfaces ［J］. IEEE Photonics Journal ， 2020 ， 12 （ 4 ）： 1 - 8 .

OZER A ， YILMAZ N ， KOCER H ， et al . Polarization-insensitive beam splitters using all-dielectric phase gradient metasurfaces at visible wavelengths ［J］. Optics Letters ， 2018 ， 43 （ 18 ）： 4350 - 4353 .

LI Z ， ZHU C ， XU H ， et al . Broadband transmissive quarter-wave plate using double-layer metallic structures ［J］. Asia Commun. Photon ， 2018 ： 1 - 3 .

南航，张鹏，佟首峰，等 . 空间光混频器分光性能的分析与优化［J］. 光学精密工程， 2017 ， 25 （ 7 ）： 1748 - 1756 .

NAN H ， ZHANG P ， TONG SH F ， et al . Analysis and optimization of splitting performance for space optical hybrid ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2017 ， 25 （ 7 ）： 1748 - 1756 . （in Chinese）

李天佑，黄玲玲，王涌天 . 超颖表面原理与研究进展［J］. 中国光学， 2017 ， 10 （ 5 ）： 523 - 540，701 .

LI T Y ， HUANG L L ， WANG Y T . The principle and research progress of metasurfaces ［J］. Chinese Optics ， 2017 ， 10 （ 5 ）： 523 - 540，701 . （in Chinese）

ZHANG J L ， SHI S K ， JIAO H F ， et al . Ultra-broadband reflector using double-layer subwavelength gratings ［J］. Photonics Research ， 2020 ， 8 （ 3 ）： 426 - 429 .

ZHANG Z Y ， ZHANG Z Y ， LIANG H G ， et al . Photonic spin Hall effect based on broadband high-efficiency reflective metasurfaces ［J］. Applied Optics ， 2020 ， 59 （ 5 ）： A63 - A68 .

LIU F ， XU T ， WANG S S ， et al . Polarization beam splitting with gauge field metamaterials ［J］. Advanced Optical Materials ， 2019 ， 7 （ 12 ）： 1801582 .

史林兴，王莉，李华，等 . 表面等离子体激元透镜设计及其数值计算［J］. 光学精密工程， 2010 ， 18 （ 4 ）： 831 - 835 .

SHI L X ， WANG L ， LI H ， et al . Design and numerical simulation of plasmon polariton nanolens ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2010 ， 18 （ 4 ）： 831 - 835 . （in Chinese）

PROUST J ， BEDU F ， GALLAS B ， et al . All-dielectric colored metasurfaces with silicon Mie resonators ［J］. ACS Nano ， 2016 ， 10 （ 8 ）： 7761 - 7767 .

金鑫，王淼，周桃飞，等 . 应用于微型成像的氮化镓超透镜设计［J］. 光学精密工程， 2018 ， 26 （ 12 ）： 2917 - 2922 .

JIN X ， WANG M ， ZHOU T F ， et al . GaN based metalens for micro imaging ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2018 ， 26 （ 12 ）： 2917 - 2922 . （in Chinese）

HE K ， LIU Y D ， FU Y Q . Transmit-array， metasurface-based tunable polarizer and high-performance biosensor in the visible regime ［J］. Nanomaterials-Basel ， 2019 ， 9 （ 4 ）： 603 .

HUANG Z Q ， MARKS D L ， SMITH D R . Out-of-plane computer-generated multicolor waveguide holography ［J］. Optica ， 2019 ， 6 （ 2 ）： 119 - 124 .

HAO J M ， QU C ， MA S J ， et al . Plasmonic metasurfaces： From perfect absorption to phase modulation ［C］. 2015 40th International Conference on Infrared , Millimeter and Terahertz Waves , 2015 .

YU W W ， LU Y ， CHEN X R ， et al . Large-area， broadband， wide-angle plasmonic metasurface absorber for midwavelength infrared atmospheric transparency window ［J］. Advanced Optical Materials ， 2019 ， 7 （ 20 ）： 1900841 .

PAN H ， WEN Z J ， TANG Z H ， et al . Wide gamut， angle-insensitive structural colors based on deep-subwavelength bilayer media ［J］. Nanophotonics ， 2020 ， 9 （ 10 ）： 3385 - 3392 .

WANG L ， KRUK S ， KOSHELEV K ， et al . Nonlinear wavefront control with all-dielectric metasurfaces ［J］. Nano Letters ， 2018 ， 18 （ 6 ）： 3978 - 3984 .

SUN S L ， HE Q ， HAO J M ， et al . Electromagnetic metasurfaces： physics and applications ［J］. Advances in Optics and Photonics ， 2019 ， 11 （ 2 ）： 380 - 479 .

ZHOU J Y ， ZHOU J Y ， CHENG X B ， et al . Demonstration of a dual-channel two-dimensional reflection grating filter ［J］. Applied Optics ， 2020 ， 59 （ 5 ）： A181 - A186 .

YU N ， GENEVET P ， KATS M A ， et al . Light propagation with phase discontinuities： generalized laws of reflection and refraction ［J］. Science ， 2011 ， 334 （ 6054 ）： 333 - 337 .

SUN S ， HE Q ， XIAO S ， et al . Gradient-index meta-surfaces as a bridge linking propagating waves and surface waves ［J］. Nature Materials ， 2012 ， 11 （ 5 ）： 426 - 431 .

HE T ， ZHANG J L ， JIAO H F ， et al . Near-infrared broadband Si： H/SiO 2 multilayer gratings with high tolerance to fabrication errors ［J］. Nanotechnology ， 2020 ， 31 （ 31 ）： 315203 .

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