1.湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削工程技术研究中心,湖南 长沙410082
2.广东风华高新科技股份有限公司,广东 肇庆526060
3.新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室,广东 肇庆 526060
[ "熊 藜(1998-),男,重庆万州人,硕士研究生,2020年于重庆交通大学获得学士学位,主要从事微能源(电容器、电池)、电致变色器件等方面的研究。E-mail:lixiong@hnu.edu.cn" ]
熊 藜(1998-),男,重庆万州人,硕士研究生,2020年于重庆交通大学获得学士学位,主要从事微能源(电容器、电池)、电致变色器件等方面的研究。E-mail:lixiong@hnu.edu.cn
[ "张冠华(1987-),女,河南平顶山人,博士,副教授,岳麓学者,2016年于湖南大学获得博士学位,主要研究方向包括3D打印、激光微纳制造、电化学复合加工等先进微纳加工制造技术在新型高效动力电池、芯片储能及柔性透明智能电子器件等方面的应用。 E-mail:guanhuazhang@hnu.edu.cn" ]
张冠华(1987-),女,河南平顶山人,博士,副教授,岳麓学者,2016年于湖南大学获得博士学位,主要研究方向包括3D打印、激光微纳制造、电化学复合加工等先进微纳加工制造技术在新型高效动力电池、芯片储能及柔性透明智能电子器件等方面的应用。 E-mail:guanhuazhang@hnu.edu.cn
纸质出版日期:2021-12-15,
收稿日期:2021-01-05,
修回日期:2021-03-30,
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引用本文
熊藜,胡晋,杨曌等.微电容器的研究进展:从制备工艺到发展趋势[J].光学精密工程,2021,29(12):2818-2831.
XIONG Li,HU Jin,YANG Zhao,et al.Research progress of microcapacitors: from preparation technology to development trend[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(12):2818-2831.
熊藜,胡晋,杨曌等.微电容器的研究进展:从制备工艺到发展趋势[J].光学精密工程,2021,29(12):2818-2831. DOI: 10.37188/OPE.20212912.2818.
XIONG Li,HU Jin,YANG Zhao,et al.Research progress of microcapacitors: from preparation technology to development trend[J].Optics and Precision Engineering,2021,29(12):2818-2831. DOI: 10.37188/OPE.20212912.2818.
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