基于振镜的准直光源功率稳定控制器

肖岚; 袁银麟; 翁建文; 孟凡刚; 康晴; 李健军

doi:10.37188/OPE.20223000.0327

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基于振镜的准直光源功率稳定控制器

更新时间：2022-09-30

- 基于振镜的准直光源功率稳定控制器
- Power stability controller for collimating-light source based on scanlab Power Stability Controller for Collimating-light Source Based on Scanlab
- 光学精密工程 2022年页码：1-9
- 作者机构：
  
  1.中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所通用光学定标与表征技术重点实验室，合肥 230031
  2.中国科学技术大学，合肥 230026
- 作者简介：
  
  E-mail： ylyuan@aiofm.ac.cn
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划(2018YFB05046)
- DOI：10.37188/OPE.20223000.0327
  中图分类号： TN242
- 收稿日期：2022-06-17，
  
  修回日期：2022-08-01，
  
  网络出版日期：2022-09-30，
- 稿件说明：
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肖岚,袁银麟,翁建文等.基于振镜的准直光源功率稳定控制器[J].光学精密工程,

XIAO Lan,YUAN Yinlin,WENG Jianwen,et al.Power stability controller for collimating-light source based on scanlab Power Stability Controller for Collimating-light Source Based on Scanlab[J].Optics and Precision Engineering,
肖岚,袁银麟,翁建文等.基于振镜的准直光源功率稳定控制器[J].光学精密工程, DOI：10.37188/OPE.20223000.0327

XIAO Lan,YUAN Yinlin,WENG Jianwen,et al.Power stability controller for collimating-light source based on scanlab Power Stability Controller for Collimating-light Source Based on Scanlab[J].Optics and Precision Engineering, DOI：10.37188/OPE.20223000.0327

摘要

针对特殊准直光源的稳定性控制需求，提出一种基于振镜的激光功率稳定控制方法。将石英片与振镜连接固定，采用入射光角度与透过率的关系作为信号调节原理，当振镜带动石英片旋转时，对石英片透射的光信号大小进行调节。基于菲涅尔定律，开展平板玻璃旋转角度与透过率参数分析，论证旋转角度范围等参数，为实现光源的功率稳定提供输出参数支持。利用监视反馈探测器进行实时数据监测和反馈。通过PID算法，对监视探测器信号与参考调节功率对应电压的误差进行调制，实现对振镜输出角度的准确调节。采用该功率稳定器对He-Ne 632.8 nm激光器进行了稳功率实验，并采用Trap探测器进行功率输出的实验验证。试验结果表明：经过功率稳定控制后的激光器稳定性：其标准离差率

为0.016%（1 800 s），其峰峰起伏

为±0.042%（1 800 s）。峰峰起伏

降至激光器自由运行时约为1/8.79，标准离差率

改善1/13.76，稳定性得到了较好的改进。

Abstract

Aiming at the technical stability requirement of special collimating light source， a method based on scanlab is proposed. The relation between incident Angle and transmittance is used as the principle of signal regulation. The quartz plate is fixed with the scanlab， and the transmittance of the quartz is adjusted when the scanlab rotates. Real-time data feedback is carried out by monitoring detector. Rotation angle， transmittance parameters of quartz and the range of angle are analyzed based on Fresnel's law， for supportting to realize the power stability of light source. PID algorithm is used to modulate the error of the signal of the monitoring detector and the voltage corresponding to reference power so as to accurately adjust the output of scanlab. The stabilizer is used to control the power of He-Ne 632.8nm laser， and the Trap detector is used to verify the level of power stability. The experiment results of the stability of the laser after modulation is as follows： the standard deviation C

is 0.016% （1800s） and the peak-to-peak fluctuation S

is ±0.042% （1800s）. Compared with the free-running result， S

and C

are improved to 1/8.79 and 1/13.76 respectively， and the power stability of the laser is enhanced.

关键词

Keywords

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