1.中国科学院 电工研究所,北京 100190
2.中国科学院大学,北京 100049
[ "解孟涛(1996-),男,河南焦作人,硕士研究生,2019年于辽宁大学获得学士学位,现为中国科学院大学电气工程专业研究生,主要从事电子束曝光技术的研究。E-mail: jiemt@mail.iee.ac.cn" ]
解孟涛(1996-),男,河南焦作人,硕士研究生,2019年于辽宁大学获得学士学位,现为中国科学院大学电气工程专业研究生,主要从事电子束曝光技术的研究。E-mail: jiemt@mail.iee.ac.cn
[ "刘俊标(1974-),男,福建莆田人,研究员,2001年于南京航空航天大学获得博士学位,现为中国科学院电工研究所研究员,主要从事电子光学、电子束及应用研究。E-mail: liujb@mail.iee.ac.cn" ]
刘俊标(1974-),男,福建莆田人,研究员,2001年于南京航空航天大学获得博士学位,现为中国科学院电工研究所研究员,主要从事电子光学、电子束及应用研究。E-mail: liujb@mail.iee.ac.cn
纸质出版日期:2022-09-25,
收稿日期:2022-06-07,
修回日期:2022-06-28,
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引用本文
解孟涛,刘俊标,王鹏飞等.电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验[J].光学精密工程,2022,30(18):2232-2240.
XIE Mengtao,LIU Junbiao,WANG Pengfei,et al.Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(18):2232-2240.
解孟涛,刘俊标,王鹏飞等.电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验[J].光学精密工程,2022,30(18):2232-2240. DOI: 10.37188/OPE.20223018.2232.
XIE Mengtao,LIU Junbiao,WANG Pengfei,et al.Monte Carlo simulation and experiments of electron beam direct writing on curved[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(18):2232-2240. DOI: 10.37188/OPE.20223018.2232.
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