1.季华实验室,广东 佛山 528000
2.湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削工程技术研究中心,湖南 长沙 410082
[ "曾 沛(1995-),男,湖南衡阳人,博士,2017年于广西大学获得学士学位,2022年于湖南大学获得博士学位,目前为清华大学博士后,主要从事极小尺度微纳制造和表面增强拉曼散射方面的研究。E-mail: zengpei@hnu.edu.cn" ]
曾 沛(1995-),男,湖南衡阳人,博士,2017年于广西大学获得学士学位,2022年于湖南大学获得博士学位,目前为清华大学博士后,主要从事极小尺度微纳制造和表面增强拉曼散射方面的研究。E-mail: zengpei@hnu.edu.cn
[ "郑梦洁(1991-),女,江西赣州人,博士,助理研究员,2014年、2019年于兰州大学、湖南大学分别获得学士和博士学位,主要从事微纳加工制造及应用的研究。E-mail: zhengmj@jihualab.ac.cn" ]
郑梦洁(1991-),女,江西赣州人,博士,助理研究员,2014年、2019年于兰州大学、湖南大学分别获得学士和博士学位,主要从事微纳加工制造及应用的研究。E-mail: zhengmj@jihualab.ac.cn
纸质出版日期:2023-01-10,
收稿日期:2022-07-29,
修回日期:2022-08-22,
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引用本文
曾沛,舒志文,陈艺勤等.宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构[J].光学精密工程,2023,31(01):109-118.
ZENG Pei,SHU Zhiwen,CHEN Yiqin,et al.Rapid fabrication of metallic nanogap structures by shower ion beam etching[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(01):109-118.
曾沛,舒志文,陈艺勤等.宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构[J].光学精密工程,2023,31(01):109-118. DOI: 10.37188/OPE.20233101.0109.
ZENG Pei,SHU Zhiwen,CHEN Yiqin,et al.Rapid fabrication of metallic nanogap structures by shower ion beam etching[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(01):109-118. DOI: 10.37188/OPE.20233101.0109.
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