1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130031
2.中国科学院大学,北京 100190
3.上海卫星工程研究所,上海 200240
[ "牛筱茜(1997—),女,河北衡水人,硕士研究生,2019年于河北大学获得学士学位,主要从事短波光学薄膜设计制备方面的研究。E-mail:niuxiaoqian20@mails.ucas.ac.cn" ]
牛筱茜(1997—),女,河北衡水人,硕士研究生,2019年于河北大学获得学士学位,主要从事短波光学薄膜设计制备方面的研究。E-mail:niuxiaoqian20@mails.ucas.ac.cn
[ "王孝东(1978—),男,吉林长春人,博士,研究员,博士生导师,2001年于南京工业大学获得学士学位,2007年于汕头大学获得硕士学位,2010年于同济大学获得博士学位,主要从事短波光学薄膜设计制备及检测等方面的研究。E-mail:wangxiaodong@ciomp.ac.cn" ]
王孝东(1978—),男,吉林长春人,博士,研究员,博士生导师,2001年于南京工业大学获得学士学位,2007年于汕头大学获得硕士学位,2010年于同济大学获得博士学位,主要从事短波光学薄膜设计制备及检测等方面的研究。E-mail:wangxiaodong@ciomp.ac.cn
[ "陈 波(1961—),男,吉林长春人,博士,研究员,博士生导师,1984年于吉林大学获得学士学位,1990年于长春光机所获得硕士学位,2003年于长春光机所获得博士学位,主要从事软X射线-真空紫外波段光源、探测器、辐射计量及空间光学仪器等方面的研究。E-mail:chenb@ciomp.ac.cn" ]
陈 波(1961—),男,吉林长春人,博士,研究员,博士生导师,1984年于吉林大学获得学士学位,1990年于长春光机所获得硕士学位,2003年于长春光机所获得博士学位,主要从事软X射线-真空紫外波段光源、探测器、辐射计量及空间光学仪器等方面的研究。E-mail:chenb@ciomp.ac.cn
纸质出版日期:2023-01-25,
收稿日期:2022-05-11,
修回日期:2022-06-07,
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引用本文
牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林等.17.1 nm极紫外滤光片的制备[J].光学精密工程,2023,31(02):141-149.
NIU Xiaoqian,MIAO Pengfei,WANG Hanlin,et al.Preparation of EUV Filter at 17.1 nm[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(02):141-149.
牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林等.17.1 nm极紫外滤光片的制备[J].光学精密工程,2023,31(02):141-149. DOI: 10.37188/OPE.20233102.0141.
NIU Xiaoqian,MIAO Pengfei,WANG Hanlin,et al.Preparation of EUV Filter at 17.1 nm[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(02):141-149. DOI: 10.37188/OPE.20233102.0141.
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