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XY工作台六自由度误差在线测量和补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2023-07-17
    • XY工作台六自由度误差在线测量和补偿

    • On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages

    • 光学精密工程  
    • DOI:10.37188/OPE.20233112.1761    

      中图分类号: TP394.1;TH691.9
    • 纸质出版日期:2023-06-25

      收稿日期:2022-11-16

      修回日期:2022-12-17

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  • 引用本文

  • 林荣炜,程真英,何亚雄等.XY工作台六自由度误差在线测量和补偿[J].光学精密工程,2023,31(12):1761-1773. DOI: 10.37188/OPE.20233112.1761.

    LIN Rongwei,CHENG Zhenying,HE Yaxiong,et al.On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(12):1761-1773. DOI: 10.37188/OPE.20233112.1761.

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    大连理工大学 机械工程学院
    襄阳华中科技大学先进制造工程研究院
    中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
    浙江大学 现代制造工程研究所
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