1.合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽 合肥 230009
[ "林荣炜(1999-),男,福建人,硕士研究生,2021年于合肥工业大学获得学士学位,主要从事微纳米三坐标测量机的研究。E-mail:2017210106@ mail.hfut.edu.cn" ]
林荣炜(1999-),男,福建人,硕士研究生,2021年于合肥工业大学获得学士学位,主要从事微纳米三坐标测量机的研究。E-mail:2017210106@ mail.hfut.edu.cn
[ "程真英(1980-),女,江苏人,副教授,硕士生导师,主要从事误差理论和不确定评定的研究。E-mail:chengzhenying01@ hfut.edu.cn" ]
程真英(1980-),女,江苏人,副教授,硕士生导师,主要从事误差理论和不确定评定的研究。E-mail:chengzhenying01@ hfut.edu.cn
[ "李瑞君(1976-),男,内蒙古人,教授,博士生导师,主要从事微纳测量技术与系统、光电检测技术与系统及精密控制技术与系统的研究。E-mail:rj-li@hfut.edu.cn" ]
李瑞君(1976-),男,内蒙古人,教授,博士生导师,主要从事微纳测量技术与系统、光电检测技术与系统及精密控制技术与系统的研究。E-mail:rj-li@hfut.edu.cn
纸质出版日期:2023-06-25,
收稿日期:2022-11-16,
修回日期:2022-12-17,
扫 描 看 全 文
引用本文
林荣炜,程真英,何亚雄等.XY工作台六自由度误差在线测量和补偿[J].光学精密工程,2023,31(12):1761-1773.
LIN Rongwei,CHENG Zhenying,HE Yaxiong,et al.On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(12):1761-1773.
林荣炜,程真英,何亚雄等.XY工作台六自由度误差在线测量和补偿[J].光学精密工程,2023,31(12):1761-1773. DOI: 10.37188/OPE.20233112.1761.
LIN Rongwei,CHENG Zhenying,HE Yaxiong,et al.On-line six-degree-of-freedom errors measurement and compensation for XY stages[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(12):1761-1773. DOI: 10.37188/OPE.20233112.1761.
0
浏览量
20
下载量
0
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构