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光刻胶掩膜材料超光滑表面切削
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2023-07-17
    • 光刻胶掩膜材料超光滑表面切削

    • Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface

    • 光学精密工程  
    • DOI:10.37188/OPE.20233113.1909    

      中图分类号: TH145.4;TG519.3
    • 纸质出版日期:2023-07-10

      收稿日期:2023-01-29

      修回日期:2023-02-23

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  • 引用本文

  • 李秋怡,周天丰,周佳等.光刻胶掩膜材料超光滑表面切削[J].光学精密工程,2023,31(13):1909-1921. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1909.

    LI Qiuyi,ZHOU Tianfeng,ZHOU Jia,et al.Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(13):1909-1921. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1909.

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    大连理工大学 光电工程与仪器科学学院
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