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[ "李秋怡(1998-),女,湖北襄阳人,硕士研究生,2020年于南京理工大学获得学士学位,主要研究方向为超精密加工。 E-mail:13770927796@163.com" ]
李秋怡(1998-),女,湖北襄阳人,硕士研究生,2020年于南京理工大学获得学士学位,主要研究方向为超精密加工。 E-mail:13770927796@163.com
[ "赵 斌(1991-),男,山东德州人,博士,助理教授,硕士生导师,2018年于山东大学获得博士学位,主要研究方向为高性能陶瓷刀具、难加工材料切削加工。 E-mail:bin.zhao@bit.edu.cn" ]
赵 斌(1991-),男,山东德州人,博士,助理教授,硕士生导师,2018年于山东大学获得博士学位,主要研究方向为高性能陶瓷刀具、难加工材料切削加工。 E-mail:bin.zhao@bit.edu.cn
纸质出版日期:2023-07-10,
收稿日期:2023-01-29,
修回日期:2023-02-23,
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引用本文
李秋怡,周天丰,周佳等.光刻胶掩膜材料超光滑表面切削[J].光学精密工程,2023,31(13):1909-1921.
LI Qiuyi,ZHOU Tianfeng,ZHOU Jia,et al.Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(13):1909-1921.
李秋怡,周天丰,周佳等.光刻胶掩膜材料超光滑表面切削[J].光学精密工程,2023,31(13):1909-1921. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1909.
LI Qiuyi,ZHOU Tianfeng,ZHOU Jia,et al.Ultra-precision cutting of photoresist mask for ultra-smooth surface[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(13):1909-1921. DOI: 10.37188/OPE.20233113.1909.
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