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蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2023-08-26
    • 蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测

    • Surface crack depth detection of sapphire substrate two-sided lapping

    • 光学精密工程   2023年31卷第14期 页码:2060-2070
    • DOI:10.37188/OPE.20233114.2060    

      中图分类号:

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  • 彭福鑫, 胡中伟, 陈瑜, 等. 蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测[J]. 光学精密工程, 2023,31(14):2060-2070. DOI: 10.37188/OPE.20233114.2060.

    PENG Fuxin, HU Zhongwei, CHEN Yu, et al. Surface crack depth detection of sapphire substrate two-sided lapping[J]. Optics and Precision Engineering, 2023,31(14):2060-2070. DOI: 10.37188/OPE.20233114.2060.

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