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磁场及靶基距对CrAlN薄膜性能的影响
现代应用光学 | 更新时间:2023-09-25
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    • 磁场及靶基距对CrAlN薄膜性能的影响

    • Effect of magnetic field and target-substrate distance on properties of CrAlN films

    • 光学精密工程   2023年31卷第18期 页码:2627-2635
    • DOI:10.37188/OPE.20233118.2627    

      中图分类号: TG174.4
    • 收稿日期:2023-04-12

      修回日期:2023-05-09

      纸质出版日期:2023-09-25

    移动端阅览

  • 郑锦华,梅诗阳,李志雄等.磁场及靶基距对CrAlN薄膜性能的影响[J].光学精密工程,2023,31(18):2627-2635. DOI: 10.37188/OPE.20233118.2627.

    ZHENG Jinhua,MEI Shiyang,LI Zhixiong,et al.Effect of magnetic field and target-substrate distance on properties of CrAlN films[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(18):2627-2635. DOI: 10.37188/OPE.20233118.2627.

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李志雄
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相关机构

郑州大学 机械与动力工程学院热能系统节能技术与 装备教育部工程研究中心
中国科学院 苏州生物医学工程技术研究所
中国科技大学
清华大学 热科学与动力工程教育部重点实验室
新疆大学 电气工程学院 能源与动力系
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