您当前的位置:
首页 >
文章列表页 >
三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2023-11-27
    • 三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿

    • Coupled hysteresis model and its inverse compensation for three-degree-of-freedom tip-tilt-piston piezoelectric stage

    • 光学精密工程   2023年31卷第20期 页码:2964-2974
    • DOI:10.37188/OPE.20233120.2964    

      中图分类号: TN384
    • 收稿日期:2023-05-11

      修回日期:2023-07-04

      纸质出版日期:2023-10-25

    移动端阅览

  • 司马津甫,赖磊捷,李朋志等.三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿[J].光学精密工程,2023,31(20):2964-2974. DOI: 10.37188/OPE.20233120.2964.

    SIMA Jinfu,LAI Leijie,LI Pengzhi,et al.Coupled hysteresis model and its inverse compensation for three-degree-of-freedom tip-tilt-piston piezoelectric stage[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(20):2964-2974. DOI: 10.37188/OPE.20233120.2964.

  •  
  •  

0

浏览量

349

下载量

2

CSCD

文章被引用时,请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

多延时输入下压电驱动器迟滞建模及实验验证
磁流变液控制式惯性压电旋转驱动器
基于柔顺机构的压电式微喷点胶系统设计与性能分析
压电式高精度位移微扫描控制系统设计
激光跟踪仪精密跟踪系统的设计

相关作者

李东洁
石树先
杨柳
温建明
鲍慧璐
沈德助
马继杰
文科权

相关机构

哈尔滨理工大学 黑龙江省复杂智能系统与集成重点实验室
哈尔滨理工大学 自动化学院
浙江师范大学 工学院 精密机械与智能结构研究所
江西理工大学 机电工程学院
中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心
0