基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

姚宇超; 周锐; 严星; 王振忠; 高娜

doi:10.37188/OPE.20243201.0043

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基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-01-13

- 基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺
- Micron-level processing technology of microlens array （MLA） photolithography based on convolutional neural network
- “在MLA曝光工艺中，设计圆环形图案并引入Yolov5模型，快速判定曝光质量，分析光刻胶厚度、线能量密度等参数，为工艺优化提供依据。”
- 光学精密工程 2024年32卷第1期页码：43-52
- 作者机构：
  
  1.厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院，福建厦门 361005
  2.福建省能源材料科学与技术创新实验室（IKKEM），福建厦门 361005
  3.厦门大学航空航天学院，福建厦门 361102
  4.厦门大学物理科学与技术学院，福建厦门 361005
  5.厦门大学九江研究院，江西九江 332000
- 作者简介：
  
  [ "姚宇超（1995-），男，江苏无锡人，硕士研究生，主要从事激光微纳制造及装备开发方面的研究。E-mail： 19920201151430@stu.xmu.edu.cn" ]
  [ "周锐（1986-），男，湖北仙桃人，高级工程师，2007年于浙江大学获得学士学位，2009年于美国北卡州立大学获得硕士学位，2014年于新加坡国立大学获得博士学位，现为福建省精密制造业技术开发基地副主任，中国光学学会光学制造专委会常委，中国光学工程学会微纳专业委员会委员，主要从事激光微纳制造及装备开发方面的研究。E-mail：rzhou2@xmu.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(62175203);福建省科技计划资助项目(2020H0006);嘉庚创新实验室应用基础研究资助项目(RD2020050301)
- DOI：10.37188/OPE.20243201.0043
  中图分类号： TN248;TH391.41
- 收稿日期：2023-08-15，
  
  修回日期：2023-09-11，
  
  纸质出版日期：2024-01-10
- 稿件说明：
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姚宇超,周锐,严星等.基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺[J].光学精密工程,2024,32(01):43-52.

YAO Yuchao,ZHOU Rui,YAN Xing,et al.Micron-level processing technology of microlens array （MLA） photolithography based on convolutional neural network[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(01):43-52.
姚宇超,周锐,严星等.基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺[J].光学精密工程,2024,32(01):43-52. DOI： 10.37188/OPE.20243201.0043.

YAO Yuchao,ZHOU Rui,YAN Xing,et al.Micron-level processing technology of microlens array （MLA） photolithography based on convolutional neural network[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(01):43-52. DOI： 10.37188/OPE.20243201.0043.

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Micron-level processing technology of microlens array （MLA） photolithography based on convolutional neural network

DOI：10.37188/OPE.20243201.0043