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基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2024-01-13
    • 基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

    • Micron-level processing technology of microlens array (MLA) photolithography based on convolutional neural network

    • 光学精密工程   2024年32卷第1期 页码:43-52
    • DOI:10.37188/OPE.20243201.0043    

      中图分类号:

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  • 姚宇超,周锐,严星等.基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺[J].光学精密工程,2024,32(01):43-52. DOI: 10.37188/OPE.20243201.0043.

    YAO Yuchao,ZHOU Rui,YAN Xing,et al.Micron-level processing technology of microlens array (MLA) photolithography based on convolutional neural network[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(01):43-52. DOI: 10.37188/OPE.20243201.0043.

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