超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测

敖萌灿; 黄金星; 曾毓贤; 吴跃勤; 康仁科; 高尚

doi:10.37188/OPE.20243201.0084

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超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

- 超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测
- Prediction of brittle-to-ductile transition depth in ultra-precision grinding YAG crystals
- 光学精密工程 2024年32卷第1期页码：84-94
- 作者机构：
  
  1.大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室，辽宁大连 116024
  2.华侨大学制造工程研究院，福建厦门 361021
- 作者简介：
  
  敖萌灿（1999-），男，重庆人，硕士研究生，2021年于大连理工大学获得学士学位，主要研究方向为硬脆材料超精密磨削技术。E-mail： 32104027@mail.dlut.edu.cn
  高尚（1982-），男，辽宁沈阳人，博士，副教授，博士生导师，2005年、2007年、2014年于大连理工大学分别获得学士、硕士和博士学位，主要研究方向为难加工材料精密与超精密加工技术、半导体制造技术与设备。E-mail： gaoshang@dlut.edu.cn
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2022YFB3605902);国家自然科学基金资助项目(51975091;51991372)
- DOI：10.37188/OPE.20243201.0084
  中图分类号： TN305.2;O786
- 收稿：2023-09-14，
  
  修回：2023-10-11，
  
  纸质出版：2024-01-10
- 稿件说明：
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敖萌灿,黄金星,曾毓贤等.超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测[J].光学精密工程,2024,32(01):84-94.

AO Mengcan,HUANG Jinxing,ZENG Yuxian,et al.Prediction of brittle-to-ductile transition depth in ultra-precision grinding YAG crystals[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(01):84-94.
敖萌灿,黄金星,曾毓贤等.超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测[J].光学精密工程,2024,32(01):84-94. DOI： 10.37188/OPE.20243201.0084.

AO Mengcan,HUANG Jinxing,ZENG Yuxian,et al.Prediction of brittle-to-ductile transition depth in ultra-precision grinding YAG crystals[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(01):84-94. DOI： 10.37188/OPE.20243201.0084.

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超精密磨削YAG晶体的脆塑转变临界深度预测

Prediction of brittle-to-ductile transition depth in ultra-precision grinding YAG crystals

DOI：10.37188/OPE.20243201.0084