基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

张宝良; 梁文峰; 杨铁; 于鹏

doi:10.37188/OPE.20243202.0137

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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

- 基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究
- Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method
- 光学精密工程 2024年32卷第2期页码：137-147
- 作者机构：
  
  1.沈阳建筑大学机械工程学院，辽宁沈阳 110168
  2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室，辽宁沈阳 110016
  3.中国科学院机器人与智能制造创新研究院，辽宁沈阳 110169
- 作者简介：
  
  张宝良（1998-），男，吉林长春人，硕士研究生， 2021年于长春大学获得学士学位，主要从事纳米测量与原子力显微镜方面的研究。E-mail： z18244073403@163.com
  于鹏（1981-），男，辽宁鞍山人，硕士，研究员，硕士生导师，2002年、2005年于大连海事大学分别获得学士与硕士学位，主要从事纳米操作机器人与纳米观测技术方面的研究。E-mail： yupeng@sia.cn
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2021YFB3201600)
- DOI：10.37188/OPE.20243202.0137
  中图分类号： TH73
- 收稿：2023-05-10，
  
  修回：2023-07-04，
  
  纸质出版：2024-01-25
- 稿件说明：
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张宝良,梁文峰,杨铁等.基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(02):137-147.

ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147.
张宝良,梁文峰,杨铁等.基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(02):137-147. DOI： 10.37188/OPE.20243202.0137.

ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147. DOI： 10.37188/OPE.20243202.0137.

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Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method

DOI：10.37188/OPE.20243202.0137