基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

张宝良; 梁文峰; 杨铁; 于鹏

doi:10.37188/OPE.20243202.0137

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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

现代应用光学 | 更新时间：2024-02-01

- 基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究
- Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method
- “科技新闻播报：一项针对原子力显微镜（AFM）系统的创新研究取得突破。该研究通过精密控制探针与探针夹装配位置，实现了更换探针后与原光路位置的一致性，省去了繁琐的光路调整步骤。这一系统采用光束偏转法监测探针位置与偏转，并利用高精度位移与角度调节平台进行精确调整。实验验证显示，装配的探针平均位置精度接近1.1µm，更换一致性探针仅需8秒。这一成果不仅简化了AFM系统重新校准光路的操作，而且为工业计量型AFM的操作与测量性能提升奠定了坚实基础。这一创新研究为AFM领域的发展开辟了新的方向，有望推动相关技术的进步与应用拓展。”
  
  ”
- 光学精密工程 2024年32卷第2期页码：137-147
- 作者机构：
  
  1.沈阳建筑大学机械工程学院，辽宁沈阳 110168
  2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室，辽宁沈阳 110016
  3.中国科学院机器人与智能制造创新研究院，辽宁沈阳 110169
- 作者简介：
  
  [ "张宝良（1998-），男，吉林长春人，硕士研究生， 2021年于长春大学获得学士学位，主要从事纳米测量与原子力显微镜方面的研究。E-mail： z18244073403@163.com" ]
  [ "于鹏（1981-），男，辽宁鞍山人，硕士，研究员，硕士生导师，2002年、2005年于大连海事大学分别获得学士与硕士学位，主要从事纳米操作机器人与纳米观测技术方面的研究。E-mail： yupeng@sia.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2021YFB3201600)
- DOI：10.37188/OPE.20243202.0137
  中图分类号： TH73
- 纸质出版日期：2024-01-25，
  
  收稿日期：2023-05-10，
  
  修回日期：2023-07-04，
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张宝良,梁文峰,杨铁等.基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(02):137-147.

ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147.
张宝良,梁文峰,杨铁等.基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(02):137-147. DOI： 10.37188/OPE.20243202.0137.

ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147. DOI： 10.37188/OPE.20243202.0137.

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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method

DOI：10.37188/OPE.20243202.0137