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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究
现代应用光学 | 更新时间:2024-02-01
    • 基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

    • Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method

    • 光学精密工程   2024年32卷第2期 页码:137-147
    • DOI:10.37188/OPE.20243202.0137    

      中图分类号:

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  • 张宝良,梁文峰,杨铁等.基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(02):137-147. DOI: 10.37188/OPE.20243202.0137.

    ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147. DOI: 10.37188/OPE.20243202.0137.

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