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全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制
现代应用光学 | 更新时间:2024-02-22
    • 全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制

    • Factors influencing surface figure of optical elements in full-aperture continuous polishing and their control

    • 光学精密工程   2024年32卷第3期 页码:333-343
    • DOI:10.37188/OPE.20243203.0333    

      中图分类号: TH161
    • 收稿日期:2023-05-29

      修回日期:2023-06-26

      纸质出版日期:2024-02-10

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  • 廖德锋,张明壮,谢瑞清等.全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制[J].光学精密工程,2024,32(03):333-343. DOI: 10.37188/OPE.20243203.0333.

    LIAO Defeng,ZHANG Mingzhuang,XIE Ruiqing,et al.Factors influencing surface figure of optical elements in full-aperture continuous polishing and their control[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(03):333-343. DOI: 10.37188/OPE.20243203.0333.

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