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全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制
现代应用光学 | 更新时间：2024-02-22

    • 全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制

    • Factors influencing surface figure of optical elements in full-aperture continuous polishing and their control

    • 光学精密工程   2024年32卷第3期 页码：333-343

    • DOI：10.37188/OPE.20243203.0333    

      中图分类号： TH161

    • 收稿日期：2023-05-29，

      修回日期：2023-06-26，

      纸质出版日期：2024-02-10

    移动端阅览

  • 廖德锋,张明壮,谢瑞清等.全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制[J].光学精密工程,2024,32(03):333-343. DOI： 10.37188/OPE.20243203.0333.

    LIAO Defeng,ZHANG Mingzhuang,XIE Ruiqing,et al.Factors influencing surface figure of optical elements in full-aperture continuous polishing and their control[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(03):333-343. DOI： 10.37188/OPE.20243203.0333.

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