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多光谱图像融合的IC器件表面缺陷检测
信息科学 | 更新时间：2024-03-14

    • 多光谱图像融合的IC器件表面缺陷检测

    • Multispectral image fusion method for surface defect detection of IC devices

    • 光学精密工程   2024年32卷第5期 页码：740-751

    • DOI：10.37188/OPE.20243205.0740    

      中图分类号： TP394.1;TH691.9

    • 收稿日期：2023-10-05，

      修回日期：2023-10-27，

      纸质出版日期：2024-03-10

    移动端阅览

  • 邓耀华,黄志海.多光谱图像融合的IC器件表面缺陷检测[J].光学精密工程,2024,32(05):740-751. DOI： 10.37188/OPE.20243205.0740.

    DENG Yaohua,HUANG Zhihai.Multispectral image fusion method for surface defect detection of IC devices[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(05):740-751. DOI： 10.37188/OPE.20243205.0740.

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