压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

王雯雯; 赖磊捷; 李朋志; 朱利民

doi:10.37188/OPE.20243206.0833

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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-03-31

- 压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振
- Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage
- “在压电驱动微定位平台控制领域，专家提出了数据驱动无模型迭代前馈补偿和自适应陷波滤波结合的控制方法，有效提升了平台的稳定性和跟踪精度。”
- 光学精密工程 2024年32卷第6期页码：833-842
- 作者机构：
  
  1.上海工程技术大学机械与汽车工程学院，上海 201620
  2.格鲁斯特大学计算与工程学院，英国切尔滕纳姆 GL50 2RH
  3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033
  4.上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室，上海 200240
- 作者简介：
  
  [ "王雯雯（1995-），女，安徽宿州人，硕士研究生，2021年于上海工程技术大学获得本科学位，主要从事微纳米定位技术方面的研究。E-mail： 489723652@qq.com" ]
  [ "赖磊捷（1984-），男，浙江宁波人，博士，副教授，2014年于上海交通大学获得博士学位，现为上海工程技术大学机械与汽车工程学院副教授，主要从事微位移驱动控制、微纳制造装备等领域的研究。E-mail： lailj@sues.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金联合基金重点支持项目(U2013211);国家自然科学基金青年科学基金项目(51605275);上海自然科学基金资助项目(21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(MSV202210)
- DOI：10.37188/OPE.20243206.0833
  中图分类号： TP273
- 收稿日期：2023-11-12，
  
  修回日期：2023-12-06，
  
  纸质出版日期：2024-03-25
- 稿件说明：
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王雯雯,赖磊捷,李朋志等.压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振[J].光学精密工程,2024,32(06):833-842.

WANG Wenwen,LAI Leijie,LI Pengzhi,et al.Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(06):833-842.
王雯雯,赖磊捷,李朋志等.压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振[J].光学精密工程,2024,32(06):833-842. DOI： 10.37188/OPE.20243206.0833.

WANG Wenwen,LAI Leijie,LI Pengzhi,et al.Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(06):833-842. DOI： 10.37188/OPE.20243206.0833.

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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage

DOI：10.37188/OPE.20243206.0833