压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

王雯雯; 赖磊捷; 李朋志; 朱利民

doi:10.37188/OPE.20243206.0833

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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

- 压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振
- Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage
- 光学精密工程 2024年32卷第6期页码：833-842
- 作者机构：
  
  1.上海工程技术大学机械与汽车工程学院，上海 201620
  2.格鲁斯特大学计算与工程学院，英国切尔滕纳姆 GL50 2RH
  3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033
  4.上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室，上海 200240
- 作者简介：
  
  王雯雯（1995-），女，安徽宿州人，硕士研究生，2021年于上海工程技术大学获得本科学位，主要从事微纳米定位技术方面的研究。E-mail： 489723652@qq.com
  赖磊捷（1984-），男，浙江宁波人，博士，副教授，2014年于上海交通大学获得博士学位，现为上海工程技术大学机械与汽车工程学院副教授，主要从事微位移驱动控制、微纳制造装备等领域的研究。E-mail： lailj@sues.edu.cn
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金联合基金重点支持项目(U2013211);国家自然科学基金青年科学基金项目(51605275);上海自然科学基金资助项目(21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(MSV202210)
- DOI：10.37188/OPE.20243206.0833
  中图分类号： TP273
- 收稿：2023-11-12，
  
  修回：2023-12-06，
  
  纸质出版：2024-03-25
- 稿件说明：
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王雯雯,赖磊捷,李朋志等.压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振[J].光学精密工程,2024,32(06):833-842.

WANG Wenwen,LAI Leijie,LI Pengzhi,et al.Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(06):833-842.
王雯雯,赖磊捷,李朋志等.压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振[J].光学精密工程,2024,32(06):833-842. DOI： 10.37188/OPE.20243206.0833.

WANG Wenwen,LAI Leijie,LI Pengzhi,et al.Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(06):833-842. DOI： 10.37188/OPE.20243206.0833.

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压电微动台数据驱动迭代前馈补偿与自适应抑振

Data-driven iterative feedforward compensation and adaptive vibration suppression of piezoelectric micro-motion stage

DOI：10.37188/OPE.20243206.0833