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40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

    • 40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

    • Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm

    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码：1293-1306

    • DOI：10.37188/OPE.20243209.1293    

      中图分类号： TN405;TN23

    • 收稿：2024-04-17，

      修回：2024-04-30，

      纸质出版：2024-05-10

    移动端阅览

  • 来搏,蒋励,齐润泽等.40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展[J].光学精密工程,2024,32(09):1293-1306.

    LAI Bo,JIANG Li,Qi Runze,et al.Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1293-1306.

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