您当前的位置:
首页 >
文章列表页 >
40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
现代应用光学 | 更新时间:2024-05-18
    • 40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

    • Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm

    • 科技新闻播报:极紫外多层膜反射镜在多个科学技术领域如光刻、天体物理等领域发挥关键作用。专家深入研究了40~90nm波段多层膜,探索了Mg基、Sc基等材料的最佳反射率和带宽,验证了多层膜的时间稳定性,为多层膜制备提供了技术指导,为相关科学研究与应用提供了有力支撑。
    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码:1293-1306
    • DOI:10.37188/OPE.20243209.1293    

      中图分类号: TN405;TN23
    • 纸质出版日期:2024-05-10

      收稿日期:2024-04-17

      修回日期:2024-04-30

    扫 描 看 全 文

  • 来搏,蒋励,齐润泽等.40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展[J].光学精密工程,2024,32(09):1293-1306. DOI: 10.37188/OPE.20243209.1293.

    LAI Bo,JIANG Li,Qi Runze,et al.Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1293-1306. DOI: 10.37188/OPE.20243209.1293.

  •  
  •  

0

浏览量

9

下载量

0

CSCD

文章被引用时,请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

极紫外正入射光学系统研究进展
等离子体诊断用多层膜X射线成像光学研究进展
14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备
不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜性能的影响
极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件

相关作者

王占山
张众
李文斌
陈晟昊
黄秋实
伊圣振
张哲
张众

相关机构

同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
上海应用技术学院 理学院
同济大学 精密光学工程技术研究所 物理系
中国科技大学 国家同步辐射实验室
同济大学2. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室
0