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激光共焦干涉面形快速高精度自动测量
现代应用光学 | 更新时间：2024-05-18
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    • 激光共焦干涉面形快速高精度自动测量

    • Laser confocal interference surface rapid and high-precision automatic measurement

    • “科技媒体讯，研究人员提出了激光共焦干涉面形快速高精度自动测量方法。该方法通过共焦精密定焦和五维自动调整架技术，实现了被测件的高精度定位。同时，利用Zernike拟合技术减小误差，实现零条纹调整。实验表明，该方法测量精度高、速度快，为干涉面形的快速高精度测量提供了有效手段，将有力推动相关领域的技术发展。”
      ”
    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码：1320-1329

    • DOI：10.37188/OPE.20243209.1320    

      中图分类号： TH741;TP394.1

    • 纸质出版日期：2024-05-10，

      收稿日期：2023-11-21，

      修回日期：2024-01-02，

    扫 描 看 全 文

  • 赵家豪,杨帅,杨铮等.激光共焦干涉面形快速高精度自动测量[J].光学精密工程,2024,32(09):1320-1329. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1320.

    ZHAO Jiahao,YANG Shuai,YANG Zheng,et al.Laser confocal interference surface rapid and high-precision automatic measurement[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1320-1329. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1320.

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