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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

    • 界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

    • Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching

    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码：1384-1394

    • DOI：10.37188/OPE.20243209.1384    

      中图分类号： TN215;TN03

    • 收稿：2024-01-11，

      修回：2024-02-20，

      纸质出版：2024-05-10

    移动端阅览

  • 李菲尔,余佳珈,杜立群等.界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列[J].光学精密工程,2024,32(09):1384-1394.

    LI Feier,YU Jiajia,DU Liqun,et al.Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1384-1394.

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相关作者

吴梦希
杜立群
余佳珈
郑衍畅
洪义麟
徐向东
刘正坤
邱克强

相关机构

中国科学技术大学 国家同步辐射实验室
安徽工程大学 机械与汽车工程学院
南京理工大学 电子工程与光电技术学院
中国工程物理研究院 电子工程研究所
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