界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

李菲尔; 余佳珈; 杜立群; 吴梦希; 刘军山

doi:10.37188/OPE.20243209.1384

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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-05-18

- 界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列
- Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching
- “科技媒体最新报道，玻璃微棱镜因其优异性能备受关注，但加工微棱镜阵列一直是挑战。科研团队提出了界面钻蚀主导的玻璃准各向异性湿法刻蚀新方法，成功制备了高质量的微棱镜阵列器件。该方法打破了传统湿法刻蚀各向同性的认知，为玻璃微棱镜阵列等器件提供了高效低成本的制备新途径，光亮度提升显著，有望引领微棱镜应用领域的新发展。”
  
  ”
- 光学精密工程 2024年32卷第9期页码：1384-1394
- 作者机构：
  
  1.大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室，辽宁大连 116024
  2.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连 116024
- 作者简介：
  
  [ "李菲尔（1999-），女，河北邯郸人，硕士研究生，2021年于南京农业大学获得学士学位，主要从事微纳制造技术中玻璃湿法刻蚀工艺的研究。E-mail：lifeier533@163.com" ]
  [ "刘军山（1975-），男，辽宁大连人，博士，研究员，1998年于西安理工大学获得学士学位，2001年、2005年于大连理工大学分别获得硕士及博士学位，主要从事微纳米制造技术、微流控技术和柔性电子的研究。E-mail：liujs@dlut.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2022YFB3204600);大连理工大学医工交叉联合基金资助项目(DUT23YG215)
- DOI：10.37188/OPE.20243209.1384
  中图分类号： TN215;TN03
- 纸质出版日期：2024-05-10，
  
  收稿日期：2024-01-11，
  
  修回日期：2024-02-20，
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李菲尔,余佳珈,杜立群等.界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列[J].光学精密工程,2024,32(09):1384-1394.

LI Feier,YU Jiajia,DU Liqun,et al.Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1384-1394.
李菲尔,余佳珈,杜立群等.界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列[J].光学精密工程,2024,32(09):1384-1394. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1384.

LI Feier,YU Jiajia,DU Liqun,et al.Fabrication of glass microprism via interfacial erosion induced quasi-anisotropic wet etching[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1384-1394. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1384.

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