基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

薛春安; 余俊; 盛鹏峰; 王豪杰; 王占山; 王东方

doi:10.37188/OPE.20243213.2004

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11

- 基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测
- High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes
- 光学精密工程 2024年32卷第13期页码：2004-2016
- 作者机构：
  
  1.同济大学精密光学工程技术研究所，上海 200331
  2.同济大学机械工程学院，上海 200331
  3.同济大学先进微结构材料教育部重点实验室，上海 200331
  4.中国科学院上海技术物理研究所光电制造工程中心，上海 200083
- 作者简介：
  
  薛春安（1999-），男，上海金山人，硕士研究生，2021年于同济大学物理科学与工程学院获得学士学位，主要从事非球面镜设计、精密抛光、精密检测等方面的研究。E-mail: 2130970@tongji.edu.cn
  余俊（1988-），男，博士，助理教授，2010年于南京理工大学获得学士学位，2014年于中国科学院大学获得硕士学位，2019年于同济大学获得博士学位，主要从事自由曲面光学、超精密光学加工与检测方面的研究。E-mail: yujun_88831@tongji.edu.cn
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(62105244;U2030111);上海市自然科学基金资助项目(21ZR1473600);上海市产业协同创新（科技）项目(XTCX-KJ-2023-30);中国科学院青年创新促进会项目(Y1K4H0FKG1);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(12305365)
- DOI：10.37188/OPE.20243213.2004
  中图分类号： TH74
- 收稿：2024-01-22，
  
  修回：2024-03-15，
  
  纸质出版：2024-07-10
- 稿件说明：
移动端阅览
薛春安,余俊,盛鹏峰等.基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测[J].光学精密工程,2024,32(13):2004-2016.

XUE Chunan,YU Jun,SHENG Pengfeng,et al.High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2004-2016.
薛春安,余俊,盛鹏峰等.基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测[J].光学精密工程,2024,32(13):2004-2016. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2004.

XUE Chunan,YU Jun,SHENG Pengfeng,et al.High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2004-2016. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2004.

浏览量

698

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析-

近距光学检测在微藻密度测量中的研究进展

无人机光电成像目标定位与精度影响因素

跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析

极紫外光学元件全频段面形误差检测与缺陷探测技术研究进展

基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes

DOI：10.37188/OPE.20243213.2004