非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

李姝姝; 余卿; 张耀祖; 张伟; 王寅; 刘婷; 郑伟峰; 李丽娜

doi:10.37188/OPE.20243213.2040

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非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

现代应用光学 | 更新时间：2024-08-19

- 非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正
- Error analysis and correction of surface inclination angle of non-coaxial parallel chromatic confocal measurement system
- “在精密测量领域，研究人员提出了一种针对非同轴式并行彩色共聚焦测量系统的误差补偿方法。通过实验验证，该方法能有效消除因被测物表面倾斜产生的数据误差，提高测量精度至微米级。”
- 光学精密工程 2024年32卷第13期页码：2040-2051
- 作者机构：
  
  1.华侨大学机电及自动化学院，福建厦门 361021
  2.福建省移动机械绿色智能驱动与传动重点实验室，福建厦门 361021
  3.厦门市计量检定测试院，福建厦门 361004
- 作者简介：
  
  [ "李姝姝（1999-），女，湖南邵阳人，硕士研究生，2018年于中南林业科技大学获得学士学位，主要从事机械设计的研究。E-mail：22014080049@stu.hqu.edu.cn" ]
  [ "余卿（1983-），男，江西新余人，博士，副教授，2005年、2011年于合肥工业大学分别获得学士和博士学位，主要从事光电检测、精密机械设计等的研究。E-mail：yuqing@hqu.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(52075190;52211530491);福建省科技计划项目(2023I0017);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK136)
- DOI：10.37188/OPE.20243213.2040
  中图分类号： TH703
- 收稿日期：2024-01-09，
  
  修回日期：2024-03-09，
  
  纸质出版日期：2024-07-10
- 稿件说明：
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李姝姝,余卿,张耀祖等.非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正[J].光学精密工程,2024,32(13):2040-2051.

LI Shushu,YU Qing,ZHANG Yaozu,et al.Error analysis and correction of surface inclination angle of non-coaxial parallel chromatic confocal measurement system[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2040-2051.
李姝姝,余卿,张耀祖等.非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正[J].光学精密工程,2024,32(13):2040-2051. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2040.

LI Shushu,YU Qing,ZHANG Yaozu,et al.Error analysis and correction of surface inclination angle of non-coaxial parallel chromatic confocal measurement system[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2040-2051. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2040.

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非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

Error analysis and correction of surface inclination angle of non-coaxial parallel chromatic confocal measurement system

DOI：10.37188/OPE.20243213.2040