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基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

    • 基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台

    • High-stroke XY precision positioning stage based on Zigzag flexure hinge

    • 光学精密工程   2024年32卷第13期 页码：2070-2080

    • DOI：10.37188/OPE.20243213.2070    

      中图分类号： TH132;TH122

    • 收稿：2023-12-30，

      修回：2024-03-01，

      纸质出版：2024-07-10

    移动端阅览

  • 赵林峰,凌明祥,薛立伟等.基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台[J].光学精密工程,2024,32(13):2070-2080.

    ZHAO Linfeng,LING Mingxiang,XUE Liwei,et al.High-stroke XY precision positioning stage based on Zigzag flexure hinge[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2070-2080.

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