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基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2024-08-19
    • 基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台

    • High-stroke XY precision positioning stage based on Zigzag flexure hinge

    • 最新研究突破:采用Zigzag柔性簧片导向的并联式XY二自由度精密定位平台,实现3 mm×3 mm大行程、60 Hz高频响、1.3 μm高分辨率的精密运动控制,为精密制造领域提供创新解决方案。
    • 光学精密工程   2024年32卷第13期 页码:2070-2080
    • DOI:10.37188/OPE.20243213.2070    

      中图分类号: TH132;TH122
    • 收稿日期:2023-12-30

      修回日期:2024-03-01

      纸质出版日期:2024-07-10

    移动端阅览

  • 赵林峰,凌明祥,薛立伟等.基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台[J].光学精密工程,2024,32(13):2070-2080. DOI: 10.37188/OPE.20243213.2070.

    ZHAO Linfeng,LING Mingxiang,XUE Liwei,et al.High-stroke XY precision positioning stage based on Zigzag flexure hinge[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2070-2080. DOI: 10.37188/OPE.20243213.2070.

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