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光栅干涉精密纳米测量技术
精密测量与传感 | 更新时间：2024-10-17
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    • 光栅干涉精密纳米测量技术

    • Grating interferometric precision nanometric measurement technology

    • “光栅干涉测量技术在精密纳米测量领域取得重要进展，专家分析了精度和误差，为系统开发提供参考。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第17期 页码：2591-2611

    • DOI：10.37188/OPE.20243217.2591    

      中图分类号： TH744.3;TN247

    • 纸质出版日期：2024-09-10，

      收稿日期：2024-04-17，

      修回日期：2024-05-25，

    移动端阅览

  • 李星辉,崔璨.光栅干涉精密纳米测量技术[J].光学精密工程,2024,32(17):2591-2611. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2591.

    LI Xinghui,CUI Can.Grating interferometric precision nanometric measurement technology[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2591-2611. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2591.

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